[发明专利]一种柔性聚合物太阳能电池的制备方法

权利要求书

1.一种柔性聚合物薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤i、在具有光滑表面的平面基板上制备的柔性基底；

步骤ii、在带有柔性基底的基板与条状掩模板上，蒸发得到无铟透明导电阳极层；所述柔性基底的材料为玻璃化转变温度大于等于150摄氏度的透明塑料材料；

步骤iii、在所述无铟透明导电阳极层上形成光敏层；

步骤iv、在所述光敏层上方蒸发得到阴极修饰层和阴极层；

步骤v、将带有无铟透明导电阳极层，光敏层，阴极修饰层，及阴极层的柔性基底从基板上剥离下来。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在步骤ii中，在蒸发得到无铟透明导电阳极层之前，还要先蒸发一层附着力及光学修饰层。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述附着力及光学修饰层的厚度为10-100纳米。

4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述附着力及光学修饰层为一种、两种或三种透明金属氧化物的混合。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，

两种透明金属氧化物混合时，每一种透明金属氧化物的混合比例为10-90%；

三种透明金属氧化物混合时，每一种透明金属氧化物的混合比例为10-80%。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述透明金属氧化物包括SiO₂，Al₂O₃，和Ta₂O₅。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤ii中，无铟透明导电阳极为介质/金属/介质结构的多层透明导电薄膜。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述多层透明导电薄膜的结构为WO₃/Ag/WO₃或MoO₃/Ag/MoO₃或Ta₂O₅/Ag/Ta₂O₅或Sb₂O₃/Ag/Sb₂O₃。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤i中，所述基板为玻璃，石英或者硅片。

10.根据权利要求1-8任意一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤ii中，所述柔性基底为聚酰亚胺（PI）或聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）。

11.根据权利要求1-8任意一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤i中，所述柔性基底的厚度为1-300微米。

12.根据权利要求1-8任意一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤ii中，所述无铟透明导电阳极层的厚度为50-200纳米。

13.根据权利要求1-8任意一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤ii中，所述光敏层的厚度为80-150纳米。

14.根据权利要求1-8任意一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤iv中，所述阴极修饰层的厚度为0.5-2纳米。

15.根据权利要求1-8任意一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤iv中，所述阴极层的厚度为20-100纳米。