[发明专利]酸性蚀刻废液的再生回收方法及系统

权利要求书

1.一种酸性蚀刻废液的再生回收方法，其特征在于，包括步骤：

将酸性蚀刻废液导入由阳离子交换膜分隔阳极室和阴极室的电解槽的所述阴极室后，按照以下工艺参数实施电化学处理：

阴极室：铜离子和亚铜离子的总浓度为5g/L～80g/L，氢离子浓度为0.5mol/L～6mol/L；

阳极室：硫酸浓度为0.5mol/L～6mol/L。

2.根据权利要求1所述的再生回收方法，其特征在于，所述电化学处理过程中，电流密度为50A/m²～1000A/m²，阴极室的电解温度为15℃～50℃。

3.根据权利要求1或2所述的再生回收方法，其特征在于，所述电化学处理过程中，所述酸性蚀刻废液持续导入所述阴极室，并持续从阴极室将产生的再生液导出；同时向所述阳极室补充水至原液面高度。

4.一种酸性蚀刻废液的再生回收系统，用于将酸性蚀刻废液通过电化学方法再生为再生液，其特征在于，包括由阳离子交换膜分隔的阳极室和阴极室组成的电解槽，所述酸性蚀刻废液循环导入所述阴极室。

5.根据权利要求4所述的再生回收系统，其特征在于，所述阳极室通过管道与阳极液循环槽连通；所述阴极室通过管道与阴极液循环槽连通，所述阴极液循环槽通过管道从蚀刻废液储存槽中导入酸性蚀刻废液，并将所述阴极室产生的再生液导出至再生液储存槽。

6.根据权利要求5所述的再生回收系统，其特征在于，所述再生液储存槽中的再生液通过再生液自动调配系统调配成符合蚀刻工艺要求的再生子液后，导入再生子液储存槽中，所述再生子液储存槽中的再生子液通过再生子液自动添加系统补充到蚀刻机中，所述再生液自动调配系统和所述再生子液自动添加系统由自动控制系统控制。

7.根据权利要求6所述的再生回收系统，其特征在于，所述阳极室，包括多个由阳离子交换膜分隔的阳极子室。

8.根据权利要求4～7中任一项所述的再生回收系统，其特征在于，所述阳极室中设有阳极板，所述阴极室中设有阴极板，所述阳极板和阴极板分别与直流电源的正极和负极电气连接，所述阳极板为不溶性阳极板。

9.根据权利要求8中所述的再生回收系统，其特征在于，所述不溶性阳极板为涂层阳极板或者铅阳极板，所述阴极板为钛材制成的阴极板。

10.根据权利要求9所述的再生回收系统，其特征在于，所述阳离子交换膜为聚乙烯阳离子交换膜或聚四氟乙烯阳离子交换膜。