[发明专利]一种相变温度可调的FeRhPt复合薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种相变温度可调的FeRhPt复合薄膜，包括单晶MgO（001）基板以及其上的（FeRh）_100-XPt_X合金薄膜，并且x的取值范围为0<x<20。

2.如权利要求1所述的FeRhPt复合薄膜，其特征在于，所述（FeRh）_100-XPt_X合金薄膜厚度为5～100nm。

3.权利要求1或2所述的FeRhPt复合薄膜的制备方法，步骤为：

1）薄膜的沉积：通过沉积法在单晶（001）MgO基板上沉积（FeRh）_100-XPt_X合金薄膜，其中x的取值范围为0<x<20；

2）退火处理：基板自然冷却后，在真空中对沉积获得的薄膜进行退火处理得到FeRhPt复合薄膜。

4.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，步骤1）所述沉积法为物理气相沉积法。

5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，步骤1）所述沉积法为磁控溅射沉积法。

6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射沉积法的条件为：溅射时基板温度100～500℃；溅射腔的背底真空度0.7×10^-5～5×10^-5Pa，溅射时氩气气压1～20Pa。

7.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，磁控溅射沉积法溅射过程中基板以5转/分钟～30转/分钟的速率旋转。

8.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，步骤2）所述退火处理的条件为：真空度1×10^-5～10×10^-5Pa，退火温度400～700℃，退火时间0.5～4小时。

9.权利要求1或2任一权利要求所述的FeRhPt复合薄膜作为磁记录介质的应用。