[发明专利]光刻机工作台及其工作方法

权利要求书

1.一种光刻机工作台，其特征在于，包括平面电机、工件台、冷却装置和控制系统，所述工件台设置于所述平面电机上，所述控制系统分别与所述平面电机、工作台和冷却装置通过无线信号连接，所述平面电机带动所述工件台做长行程运动，所述工件台在所述平面电机上做六自由度运动，所述冷却装置设置于所述工件台内部，所述冷却装置用于给工件台提供冷却剂以保证其温度的稳定性。

2.根据权利要求1所述光刻机工作台，其特征在于，所述平面电机包括粗动平面电机定子、粗动平面电机动子和第一无线信号接收装置，所述粗动平面电机动子安装于所述工件台的底部，所述粗动平面电机动子设置于所述粗动平面电子定子上，所述第一无线信号接收装置设置于所述粗动平面电机定子上，所述控制系统通过所述第一无线信号接收装置控制所述粗动平面电机动子驱动所述工件台在粗动平面电机定子上做六自由度运动。

3.根据权利要求1所述光刻机工作台，其特征在于，所述工件台包括承片台、支撑台、进水口、排水口、方镜和第二无线信号接收装置，所述支撑台通过平面电机动子设置于所述平面电机定子上，所述承片台设置于所述支撑台上，所述进水口设置于所述支撑台的一侧，所述排水口设置于所述支撑台的另一侧，所述方镜设置于所述承片台相对的两侧，所述第二无线信号接收装置设置于所述承片台上，所述控制系统通过所述第二无线信号接收装置控制所述工件台中的冷却装置进行该工件台的冷却控温工作。

4.根据权利要求3所述光刻机工作台，其特征在于，所述冷却装置包括微型水泵、内部温度传感器、第一电磁阀和第二电磁阀，所述微型水泵和内部温度传感器串接构成回路，该回路设置于所述工件台的内部，所述第一电磁阀与第二电磁阀均与所述回路连接，所述进水口与所述第一电磁阀连接，所述排水口与所述第二电磁阀连接。

5.根据权利要求3所述光刻机工作台，其特征在于，还包括充电装置，所述工件台中支撑台的一侧还设有充电接口，所述充电装置能够通过所述充电接口对工件台进行充电。

6.根据权利要求4所述光刻机工作台，其特征在于，还包括换水机械臂，所述换水机械臂在工件台需要冷却时与所述进水口相接。

7.根据权利要求5所述光刻机工作台，其特征在于，还包括充电机械臂，所述充电机械臂在工件台需要充电时与所述充电接口相接。

8.根据权利要求4所述光刻机工作台，其特征在于，所述冷却装置的使用方法为：

步骤一：导通第二电磁阀，从排水口处抽空回路中使用后的冷却剂；

步骤二：关闭第二电磁阀，导通第一电磁阀，从进水口泵入冷却剂；

步骤三：关闭第一电磁阀，并从进水口与排水口处抽出残留的冷却剂；

步骤四：冷却剂通过微型水泵的驱动在回路中循环流动。

9.根据权利要求8所述光刻机工作台，其特征在于，所述冷却剂为固液两相混合物。

10.根据权利要求9所述光刻机工作台，其特征在于，采用调控固液两相混合物中固体冷介质与流体的混合比例的方式来控制工件台的温度。

11.根据权利要求8所述光刻机工作台，其特征在于，在冷却剂达不到冷却效果时，即内部温度传感器测出的冷却剂的温度长时间高于设定值时，重复步骤一至步骤四。

12.根据权利要求10所述光刻机工作台，其特征在于，所述冷却剂为22℃的水和冰的两相混合物，所述混合物中的冰不能够阻碍所述水的流动。

13.根据权利要求10所述光刻机工作台，其特征在于，所述冷却剂能够在22℃时固液共存。

14.根据权利要求1至13任一项所述光刻机工作台，其特征在于，还包括硅片吸盘装置，所述硅片吸盘装置设置于所述工件台中，所述硅片吸盘装置用于将硅片吸附于所述工件台上。