[发明专利]晶体管特性测试结构及采用该结构的测试方法有效

专利信息
申请号: 201210254423.7 申请日: 2012-07-20
公开(公告)号: CN102788946A 公开(公告)日: 2012-11-21
发明(设计)人: 魏振;郭世波;张小松;陈庆友 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 晶体管 特性 测试 结构 采用 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及显示器技术领域,尤其涉及一种晶体管特性测试结构及采用该结构的测试方法。

背景技术

目前,对于显示器面板中薄膜晶体管特性测试,如图1所示,采用三个运动轴的马达驱动三个接触头(每个接触头包括至少一个探针)分别对栅线、数据线和像素电极进行对位接触,从而进行测试。

在每次测试一个指定像素的薄膜晶体管特性时,需要三个接触头分别移动到位。使得薄膜晶体管特性测试过程复杂。

发明内容

本发明的实施例提供一种晶体管特性测试结构,使得薄膜晶体管特性测试更加简便。

为解决上述技术问题,本发明的实施例采用如下技术方案:

一种晶体管特性测试结构,包括:

用于阵列检测的连接单元;

多个晶体管测试导体垫片;

所述多个晶体管测试导体垫片包括晶体管栅极导体垫片和晶体管源极导体垫片;

所述晶体管栅极导体垫片和晶体管源极导体垫片通过所述连接单元分别连接于栅线和数据线。

所述连接单元包括多个阵列检测导体垫片;

所述多个阵列检测导体垫片分别连接于栅线和数据线;

所述多个晶体管测试导体垫片连接于所述多个阵列检测导体垫片。

所述晶体管栅极导体垫片包括第一导体垫片和第二导体垫片;

所述晶体管源极导体垫片包括第三导体垫片和第四导体垫片;

所述多个阵列检测导体垫片包括多个阵列栅极导体垫片和多个阵列源极导体垫片;

所述多个阵列栅极导体垫片连接于多根栅线;

所述多个阵列源极导体垫片连接于多根数据线;

所述第一导体垫片或/和第二导体垫片通过所述多个阵列栅极导体垫片连接于栅线;

所述第三导体垫片或/和第四导体垫片通过所述多个阵列源极导体垫片连接于数据线。

所述多个阵列栅极导体垫片为两个阵列栅极导体垫片;

所述两个阵列栅极导体垫片分别连接于奇数栅线和偶数栅线;

所述第一导体垫片和第二导体垫片分别连接于所述两个阵列栅极导体垫片。

所述多个阵列源极导体垫片为两个阵列源极导体垫片;

所述两个阵列源极导体垫片分别连接于奇数数据线和偶数数据线;

所述第三导体垫片和第四导体垫片分别连接于所述两个阵列源极导体垫片。

多个源极测试信号开关管或多个栅极测试信号开关管;

所述多个源极测试信号开关管的漏极分别连接于所述多个阵列源极导体垫片;

所述多个栅极测试信号开关管的漏极分别连接于所述多个阵列栅极导体垫片。

所述第一导体垫片连接于所述多个栅极测试信号开关管的源极;

所述第二导体垫片连接于所述多个栅极测试信号开关管的栅极;

所述第三导体垫片连接于所述多个源极测试信号开关管的源极;

所说第四导体垫片连接于所述多个源极测试信号开关管的栅极。

多个源极测试信号开关管和多个栅极测试信号开关管;

所述第一导体垫片连接于所述多个栅极测试信号开关管的源极;

所述第二导体垫片连接于所述多个栅极测试信号开关管的栅极;

所述第三导体垫片连接于所述多个源极测试信号开关管的源极;

所说第四导体垫片连接于所述多个源极测试信号开关管的栅极。

所述测试结构还包括:模拟测试晶体管;

所述第三导体垫片连接于所述模拟测试晶体管的栅极;

所述第二导体垫片和第四导体垫片分别连接于所述模拟测试晶体管的源极和漏极;

所述第二导体垫片连接于所述多个栅极测试信号开关管的源极;

所述第四导体垫片连接于所述多个源极测试信号开关管的源极;

所述第一导体垫片连接于多个所述源极测试信号开关管和栅极测试信号开关管的栅极。

本发明实施例还相应提供一种晶体管特性测试方法,

该方法采用上述任一种晶体管特性测试结构,

并将多个探针与所述多个晶体管测试导体垫片接触,并通过所述连接单元为栅线和数据线提供测试信号的输入,另外使用一个接触头的探针与像素中的薄膜晶体管的漏极或像素电极接触,实现晶体管特性测试。

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