[发明专利]一种用于薄膜杨氏模量测量的系统

权利要求书

1.一种用于薄膜杨氏模量测量的系统，包括：脉冲激光器（1），所述脉冲激光器（1）发射脉冲激光经第一扩束镜（2）准直扩束后，被3:7分光镜（3）分成7/10脉冲激光和3/10脉冲激光，所述7/10脉冲激光经柱面聚焦透镜（4）聚焦在被测样品（5）的表面，激发产生声表面波信号；其特征在于，

所述声表面波信号经过第一检测通道和/或第二检测通道转换为电信号，并通过示波器（27）显示后被传输至计算机（28）进行处理。

2.根据权利要求1所述的一种用于薄膜杨氏模量测量的系统，其特征在于，所述第一检测通道包括：压电探头（23），

所述压电探头（23）下的PVDF压电薄膜传感器（24）检测到所述声表面波信号后，将所述声表面波信号转换为所述电信号；所述3/10脉冲激光作为触发信号触发光电二极管（26），通过导线将所述电信号输出至放大器（25），被滤波放大后的信号到达所述示波器（27），所述示波器（27）获取所述电信号。

3.根据权利要求1所述的一种用于薄膜杨氏模量测量的系统，其特征在于，所述第二检测通道包括：632.8nm的He-Ne激光器（7），

所述632.8nm的He-Ne激光器（7）发出探测光，过第二扩束镜（8）准直扩束后，被1:1偏振分光镜（9）极化产生透射光，所述透射光经第一平面反射镜（10）、λ/4波片（11）和第一聚焦透镜（12）后聚焦到被测样品（5）的表面，获取所述声表面波信号后经过所述第一聚焦透镜（12）、所述λ/4波片（11）、所述第一平面反射镜（10）和所述1:1偏振分光镜（9）后产生反射光，所述反射光传输至1:1分光镜（13）分成第一路反射光和第二路反射光；所述第一路反射光经第二平面反射镜（14）、第一光阑（15）、第二聚焦透镜（18）和第一滤光片（20）后进入差分光电探测器（22）的一个探测口；所述第二路反射光经第三平面反射镜（16）、第二光阑（17）、第三聚焦透镜（19）和第二滤光片（21）后进入所述差分光电探测器（22）的另一个探测口；所述差分光电探测器（22）输出所述电信号并传输至所述示波器（27），所述示波器（27）获取所述电信号。

4.根据权利要求3所述的一种用于薄膜杨氏模量测量的系统，其特征在于，所述第一滤光片（20）和所述第二滤光片（21）具体为：波长为632.8nm的窄带干涉滤光片。