[发明专利]铸锭单晶硅的方法无效
申请号: | 201210258876.7 | 申请日: | 2012-07-24 |
公开(公告)号: | CN102747417A | 公开(公告)日: | 2012-10-24 |
发明(设计)人: | 武鹏;游达;胡亚兰;郑玉芹 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B11/14 | 分类号: | C30B11/14;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铸锭 单晶硅 方法 | ||
1.一种铸锭单晶硅的方法,包括在容器底部紧密排列地铺设籽晶及在籽晶上面添加硅料的步骤,其特征在于,铺设的籽晶中,相邻籽晶相互接触的侧面晶向不同,籽晶相互接触的侧面晶向形成5~45度的夹角。
2.根据权利要求1所述的铸锭单晶硅的方法,其特征在于,所述籽晶垂直方向晶向一致。
3.根据权利要求1或2所述的铸锭单晶硅的方法,其特征在于,所述籽晶垂直方向的晶向为<100>。
4.根据权利要求1所述的铸锭单晶硅的方法,其特征在于,至少使用两种具有不同侧面晶向的籽晶,它们在垂直方向的晶向一致。
5.根据权利要求4所述的铸锭单晶硅的方法,其特征在于,所述籽晶交错排列。
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