[发明专利]改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法

权利要求书

1.一种改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法，当CIGS当中的钼经过Laser激光划线后，会因为Laser激光的高温开始对钼有熔融的效果，这样熔融的状况会让划线过后的沟槽开始产生类似火山口状的粉尘，这些粉尘在没有经过处理都会附着在钼玻璃上，而一般在背电极金属钼镀膜完成后是不可用水来进行清洗，故其粉尘就无法去除，因此本发明是设计特殊的清洁方法，此清洁方式是在Laser激光划线机内，设计其清洁是使用暖棉且无缝隙的擦拭布在划线后的每一条线作清洁，当玻璃传入到Laser激光划线机内后，其划线是采用正切方式，当划线完毕后，这些粉尘就立即由清洁的擦拭布进行清洁，如此即可去除火山口粉尘，并依此方法来降低CIGS后续在钼玻璃上面镀膜时，可以减少这些粉尘存在导致CIGS与钼彼此介面不佳的情况。

2.根据权利要求1所述的改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法，其laser机台内有一组清洁设备，其主要是擦拭布，此擦拭布可以藉由机械弹簧的升降来与钼玻璃进行切处，并藉此来擦拭划线后产生的火山口粉尘。

3.  根据权利要求1所述的改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法，其laser输出器上有一固定架，此固定架可以完全固定住laser输出器，使其不会滑动，在进行划线时就可以有较佳的精度及平行度，如此一来，划线时也会较为平整。

4.  根据权利要求1所述的改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法，其机械弹簧固定在固定架上，此机械弹簧可以作升降，且机械弹簧可以精准的让擦拭布与划线沟槽接触，藉此来将火山口粉尘去除，且不会让粉尘再次与钼玻璃作接触，藉此提升后续钼与CIGS介面接触。

5.  根据权利要求1所述的改善CIGS在激光正切后去除粉尘的特殊清洁方法，其玻璃是采用正切方式，主要是因为膜层的底部为背电极，而Laser激光则是从上往下出光，因此划线后会产生粉尘，此设计中的集尘器可以吸附这些瞬间划线所产生的粉尘，而火山口粉尘则是需要本设计的清洁方式来作清洁，才可以完整达到效果。