[发明专利]化学机械研磨设备

权利要求书

1.一种化学机械研磨设备，其特征在于包括：可旋转的机械臂部分、不可旋转的机械臂保持部分、布置在机械臂保持部分上的反向传感器安装孔、布置在反向传感器安装孔内的机械臂传感器、布置在机械臂部分上的检测对象、以及处理单元；

其中，反向传感器安装孔与对应于机械臂部分的复位位置相对；

其中，机械臂传感器用于在开始进行学机械研磨处理之前在感测到机械臂复位并发出表示机械臂部分复位的复位通知信号，并且，机械臂传感器在感测到机械臂部分未复位时不发出任何信号；

其中，所述检测对象覆盖了的截面的超过180度的扇形部分；

并且，一方面，由于可旋转的机械臂部分相对于不可旋转的机械臂保持部分的旋转，当机械臂部分上设置的检测对象所形成的扇形的开口部分未对应于反向传感器安装孔位置处的机械臂传感器时，传感器安装孔处的机械臂传感器感测不到机械臂部分，由此机械臂传感器不发出任何信号；

另一方面，由于可旋转的机械臂部分相对于不可旋转的机械臂保持部分的旋转，当机械臂部分上设置的检测对象所形成的扇形的开口部分对应于反向传感器安装孔位置处的机械臂传感器时，传感器安装孔处的机械臂传感器感测到机械臂部分，从而机械臂传感器发出复位通知信号；

而且，化学研磨设备的处理单元在从机械臂传感器接收到复位通知信号之后才启动对待处理晶圆的化学研磨处理。

2.根据权利要求1所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述机械臂保持部分的截面未被所述检测对象覆盖的弧形部分的尺寸对应于反向传感器安装孔内的机械臂传感器的尺寸。

3.根据权利要求1或2所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述检测对象覆盖了机械臂保持部分的截面的340度至355度的扇形部分。

4.根据权利要求3所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述检测对象6覆盖了机械臂保持部分2的截面的350度的扇形部分。

5.根据权利要求1或2所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述机械臂传感器是近距离开关。

6.根据权利要求1或2所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述复位通知信号是信号“1”。