[发明专利]一种液晶显示基板及其制造方法

权利要求书

1.一种液晶显示基板，包括：扫描线；与扫描线交叉的数据线；以及由所述扫描线和数据线限定的像素单元，所述像素单元内包括薄膜晶体管和像素电极，其特征在于：所述薄膜晶体管包括：有源层、与扫描线连接的栅极、与所述数据线电性连接的源极、以及与像素电极连接的漏极，其中在数据线上设有第一接触孔，所述有源层的两侧分别开设有第二接触孔和第三接触孔，所述源极为连接第一接触孔和第二接触孔的连接线，所述漏极为像素电极与第三接触孔的连接线。

2.根据权利要求1所述的液晶显示基板，其特征在于：所述源极、漏极及像素电极位于同一层。

3.根据权利要求1所述的液晶显示基板，其特征在于：所述有源层位于扫描线与数据线之间的层。

4.根据权利要求1所述的液晶显示基板，其特征在于：所述数据线位于扫描线与有源层之间的层。

5.根据权利要求1所述的液晶显示基板，其特征在于：所述数据线与有源层由不同的光刻工艺制造且位于同一层。

6.根据权利要求1所述的液晶显示基板，其特征在于，还包括三层绝缘层，分别为：位于扫描线所在层之上的第一绝缘层、覆盖有源层的第二绝缘层、以及位于数据线所在层之上的第三绝缘层。

7.根据权利要求1所述的液晶显示基板，其特征在于，还包括三层绝缘层，分别为：位于扫描线所在层之上的第一绝缘层、位于数据线和有源层之间的第二绝缘层，覆盖有源层的第三绝缘层。

8.根据权利要求1所述的液晶显示基板，其特征在于，还包括两层绝缘层，分别为：位于扫描线所在层之上的第一绝缘层、位于有源层和第一绝缘之间的第二绝缘层。

9.一种液晶显示基板的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

A)在基板上形成第一层金属线，并形成扫描线、与扫描线连接的栅极，接着形成一层第一绝缘层；

B）在第一绝缘层上形成有源层图案，接着形成一层第二绝缘层；

C）在形成上述图案的基础上，形成第二层金属线，并形成数据线，接着形成一层第三绝缘层；

D）在形成上述图案的基础上，在数据线上形成第一接触孔、在有源层的两侧分别形成第二、第三接触孔；

E）在形成上述图案的基础上，进行透明导电层成膜，并在第一接触孔和第二接触孔之间形成连接线、以及与第三接触孔连接的像素电极。

10.一种液晶显示基板的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

A)在基板上形成第一层金属线，并形成扫描线、与扫描线连接的栅极，接着形成一层第一绝缘层；

B）在第一绝缘层上形成有源层图案；

C）在第一绝缘层上形成第二层金属线，并形成数据线，接着形成第二绝缘层；

D）在形成上述图案的基础上，在数据线上形成第一接触孔、在有源层的两侧分别形成第二、第三接触孔；

E）在形成上述图案的基础上，进行透明导电层成膜，并在第一接触孔和第二接触孔之间形成连接线、以及与第三接触孔连接的像素电极。

11.一种液晶显示基板的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

A)在基板上形成第一层金属线，并形成扫描线、与扫描线连接的栅极，接着形成一层第一绝缘层；

B）在第一绝缘层上第二层金属线，并形成数据线；

C）在第一绝缘层上形成有源层图案，接着形成第二绝缘层；

D）在形成上述图案的基础上，在数据线上形成第一接触孔、在有源层的两侧分别形成第二、第三接触孔；

E）在形成上述图案的基础上，进行透明导电层成膜，并在第一接触孔和第二接触孔之间形成连接线、以及与第三接触孔连接的像素电极。

12.根据权利要求9至11任一所述的液晶显示基板的制造方法，其特征在于：所述数据线为双层结构，其下层为导电能力的金属，上层为抗氧化金属。

13.一种液晶显示基板，其特征在于，包括：扫描线；与扫描线交叉的数据线；以及由所述扫描线和数据线限定的像素单元，所述像素单元内包括薄膜晶体管和像素电极，其特征在于：所述薄膜晶体管包括：有源层、与扫描线连接的栅极、源极、以及与像素电极连接的漏极，其中在有源层上开设有接触孔，所述源极与所述数据线由同一金属层制造形成，所述漏极为像素电极与接触孔的连接线。