[发明专利]一种特气架、监控特气架的方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及特气架技术领域，尤其涉及一种特气架、监控特气架的方法及装置。

背景技术

特气架一般应用在半导体、微电子、太阳能等行业内的工艺制程中，由特气架中的气瓶通过管路为工艺制造提供所需气体。

在现有技术中，当特气架中的设备部件出现异常时，例如备用侧的HPI（气动隔膜阀，）无法正常开启，或者特气架中的HPG（High Pressure Gauge，高压压力表）老化，导致指针卡住时，不能被及时发现。

发明内容

本发明的实施例提供一种特气架、监控特气架的方法及装置，实现了当特气架中的设备部件出现异常时，能够及时地给出提示信息。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一种特气架，包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘，一套气体钢瓶对应一套阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成，所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HPI、减压阀REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，其中，所述气体输送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表。

一种监控特气架的方法，所述特气架包括气体钢瓶和阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成，所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HPI、减压阀REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，所述方法包括：

接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；

根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；

提示所述特气架出现异常。

一种监控特气架的装置，包括：

接收单元，用于接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；

处理单元，用于根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；

提示单元，用于提示所述特气架出现异常。

本发明实施例提供的一种特气架、监控特气架的方法及装置，特气架中的气体输送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表。接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；提示所述特气架出现异常。本发明实施例实现了当特气架中的设备部件出现异常时，能够及时地给出提示信息。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例1提供的一种特气架的示意图；

图2为本发明实施例2提供的一种监控特气架的方法的流程图；

图3为本发明实施例2提供的另一种监控特气架的方法的流程图；

图4为本发明实施例3提供的一种监控特气架的装置的结构图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明实施例一种特气架、监控特气架的方法及装置、系统进行详细描述。

实施例1

如图1所示，本发明实施例提供一种特气架，包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘，一套气体钢瓶对应一套阀组面盘，所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成，所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HPI、减压阀REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口，其中，所述气体输送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表。

如图1所示，特气架中有两套气体钢瓶，一个为主用，另一个为备用，每一个气体钢瓶都有对应的一套阀组面盘。

本发明实施例提供的一种特气架，所述特气架中的气体输送低压压力表LPG（包括左右两个）为带电接点信号输出的低压压力表，以便能够将低压报警信号发送给监控特气架的装置，实现了当特气架中的设备部件出现异常时，能够及时地给出提示信息。