[发明专利]微型透镜阵列成形模的制作方法及微型透镜阵列成形模

说明书

技术领域

本发明涉及一种微型透镜阵列成形模的制作方法以及微型透镜阵列成形模。

背景技术

在例如影像扫描器等中，为了会聚来自原稿的反射光并成像于光电转换元件而使用有微型透镜阵列。在专利文献1中，公开有微型透镜阵列成形用模具的制作方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11－277543号公报

发明内容

发明要解决的问题

上述专利文献1的微型透镜阵列成形用模具的制作方法包括在模基板上形成凹部的凹部形成工序、通过研磨去除在凹部形成工序中形成的凹部周围的隆起部的研磨工序、以及将冲头按入在凹部形成工序中设置的凹部中的透镜模具形成工序。如专利文献1的制作方法那样，在透镜模具形成工序之前，进行凹部形成工序及研磨工序，从而在进行透镜模具形成工序时，将利用冲头推开而形成的金属隆起部降低至不会给透镜带来影响的程度。但是，在专利文献1的制作方法中，由于需要较多的工序，因此存在制作微型透镜阵列成形用模具需要时间、并且微型透镜阵列成形用模具的成本上升这种问题。

而且，本发明人等发现，在通过以期望的间隔将上述这种冲头间断地按入而形成各透镜模具的制作方法中，除了专利文献1所公开的问题之外，还存在对透镜模具带来影响的新的问题。即，在制作微型透镜阵列成形用模具的情况下，按入冲头时的按压力传递到模基板的内部，使已经形成的相邻的透镜模具的形状发生变形。特别是，导致微型透镜阵列成形用模具被多个透镜模具密集形成的也是，该变形为较大的主要原因。

若使用产生了变形的透镜模具来成形微型透镜阵列，则存在因透镜自身变形、导致降低透镜性能这种问题。另外，在上述专利文献1的制作方法中，即使进行了凹部形成工序及研磨工序，也不能解决在透镜模具形成工序中按入冲头时的按压力传递到模基板的内部、使已经形成的相邻的透镜模具变形的问题。

本发明是鉴于这种问题而完成的，其目的在于能够削减微型透镜阵列成形模的制作成本、并且提高利用微型透镜阵列成形模成形的微型透镜阵列的精度。

用于解决问题的方案

本发明的微型透镜阵列成形模的制作方法用于成形具有多个透镜部的微型透镜阵列，其特征在于，该微型透镜阵列成形模的制作方法包括：槽形成工序，在模基板的平坦面上形成槽部，该模基板用于构成上述微型透镜阵列成形模；以及透镜模部形成工序，在被上述槽部划分形成的划分平面上形成用于成形上述透镜部的凹状的透镜模部。

本发明的微型透镜阵列成形模用于成形具有多个透镜部的微型透镜阵列，其特征在于，该微型透镜阵列成形模包括：槽部，其形成于模基板的平坦面，该模基板用于构成上述微型透镜阵列成形模；划分平面，其利用上述槽部划分形成；以及透镜模部，其用于成形上述透镜部；上述透镜模部形成于上述划分平面。

发明的效果

根据本发明，能够消减微型透镜阵列成形模的制作成本、并且提高利用微型透镜阵列成形模成形的微型透镜阵列的精度。

附图说明

图1是用于说明制作第1实施方式的微型透镜阵列成形模14的工序的图。

图2是用于说明制作第1实施方式的微型透镜阵列成形模14的工序的图。

图3是表示利用第1实施方式的微型透镜阵列成形模14成形的微型透镜阵列15的立体图。

图4是表示利用第1实施方式的微型透镜阵列成形模14成形的微型透镜阵列18的立体图。

图5是表示上下重叠微型透镜阵列18而构成的微型透镜阵列单元19的图。

图6是用于说明制作第2实施方式的微型透镜阵列成形模24的工序的图。

图7是用于说明制作第2实施方式的微型透镜阵列成形模24的工序的图。

图8是表示利用第2实施方式的微型透镜阵列成形模24成形的微型透镜阵列25的立体图。

图9是表示第3实施方式的微型透镜阵列成形模34的俯视图。

图10是表示其他实施方式的微型透镜阵列成形模44的俯视图。

图11是表示第1实施方式的变形例的微型透镜阵列成形模54的剖视图。

图12是表示利用微型透镜阵列成形模54成形的微型透镜阵列55的立体图。

图13是表示利用微型透镜阵列成形模54成形的微型透镜阵列58的立体图。