[发明专利]一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法

权利要求书

1.一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法，其特征在于，包括：

(1).优选水晶原石5-15mm，纯度SiO2＞99.95％；

(2).对水晶原石980℃高温焙烧；

(3).粉碎至2500-3000目；

(4).对2500-3000目的水晶粉用氢氟酸、硫酸浸洗24小时，去除杂质；

(5).对去除杂质后的水晶粉分别进行7级化学浮选，用7种不同的化学方法置换水晶粉中的金属和非金属杂质；

(6).用高磁机对水晶粉进行磁选，去除水晶粉在加工过程中附着在铁杂质；

(7).检测水晶粉SiO2含量，纯度SiO2＞99.9995％；

(8).在高纯度水晶粉中加入矿化剂氧化钙、氧化镁；

(9).在高纯度水晶粉中加入适量的陶瓷泥浆；

(10).对高纯度水晶粉形成的浆料混合后球磨，形成粘结剂；

(11).将球磨后的浆料放入石墨模具中成型、固化石英陶瓷坩埚坯体；

(12).将成型后的石英陶瓷坩埚坯体脱模，干燥；

(13).将干燥成型的石英陶瓷坩埚坯体放入烘干箱，加热烘干，达到进一步固化成型；

(14).将固化成型的石英陶瓷坩埚放入硅碳棒固化电炉内，进行逐渐预热和烧制20，并保温；

(15).将烧制成型的石英陶瓷坩埚出炉；

(16).将烧制成型的石英陶瓷坩埚放入0℃-10℃的冷水中，检验破损状况；

(17).将经过合格检验的石英陶瓷坩埚，用车床进行后期的底部车磨和倒角处理，达到底部厚度与整体坩埚厚度一致，公差尺寸＜±0.2mm；

(18).石英陶瓷坩埚成品、包装。 

2.根据权利要求1所述的一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法，其特征在于：步骤(2)中高温焙烧时间为5小时。

3.根据权利要求1所述的一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法，其特征在于：步骤(4)中氢氟酸、硫酸量为8-10％。

4.根据权利要求1所述的一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法，其特征在于：步骤(8)中矿化剂为氧化钙、氧化镁。

5.根据权利要求1所述的一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法，其特征在于：步骤(8)中矿化剂的量为0.1-0.3％。

6.根据权利要求1所述的一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法，其特征在于：步骤(11)中放入石墨模具中成型、固化石英陶瓷坩埚坯体的时间为4-5小时。

7.根据权利要求1所述的一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法，其特征在于：步骤(12)中成型的石英陶瓷坩埚坯体脱模后干燥时间为3-5小时。

8.根据权利要求1所述的一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法，其特征在于：步骤(13)将干燥成型的石英陶瓷坩埚坯体放入烘干箱中，烘干温度为145℃。

9.根据权利要求1所述的一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法，其特征在于：步骤(13)将干燥成型的石英陶瓷坩埚坯体放入烘干箱中，烘干时间为12小时。

10.根据权利要求1所述的一种高纯度超薄石英陶瓷坩埚的制备方法，其特征在于：步骤(14)中将固化成型的石英陶瓷坩埚放入硅碳棒固化电炉内，进行1℃--1300℃逐渐预热和980℃--1350℃烧制20小时，并保温5小时。