[发明专利]一种硅晶体线切割液

权利要求书

1.一种硅晶体线切割液，其特征在于其组分及各组分的质量百分比如下：分散剂60~70 wt%，有机碱8~12 wt%，表面活性剂4~6wt%，消泡剂2~6 wt%，螯合剂1~3 wt%，去离子水3~25 wt%。

2.根据权利要求1所述的硅晶体线切液，其特征在于所述分散剂为聚乙二醇；所述有机碱为醇胺碱；所述表面活性剂为阴离子表面活性剂；所述消泡剂为硅油。

3.根据权利要求2所述的硅晶体线切割液，其特征在于所述聚乙二醇为聚乙二醇400，所述醇胺碱为二乙醇胺，所述硅油为二甲基硅油，所述阴离子表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠。

4.根据权利要求1所述的硅晶体线切割液，其特征在于所述的螯合剂为乙二胺四乙酸二钠。

5.根据权利要求1所述的硅晶体线切割液，其特征在于所述切割液的制备方法为：取分散剂，在搅拌条件下加入去离子水，使之与分散剂完全互溶，然后再加入有机碱，搅拌均匀，然后再加入消泡剂，最后加入表面活性剂和螯合剂，搅拌均匀即可。