[发明专利]双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体

说明书

技术领域

本发明涉及一种成膜方法，特别是涉及一种能够在长基体的双面进行真空成膜的双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体。

背景技术

目前开发出了真空蒸镀法、溅射法、离子镀膜法等各种成膜方法。利用上述成膜方法获得的层积体被广泛用于制造例如，液晶显示器或有机EL显示器等显示装置、半导体装置等。层积体能够用作上述显示装置或半导体装置等的保护膜、光学薄膜、反射防止薄膜之类的各种功能性薄膜。

近年来，液晶电视、移动电话、视频游戏机等使用上述功能性薄膜的设备装置的需要急速增长。伴随着需要的增长，急需开发出在短时间内大量生产功能性薄膜的技术。为了应对上述要求，开发出了辊对辊技术（ロールツーロール技术）。辊对辊技术通过使卷绕呈卷筒状的长基体在辊之间输送而能够进行连续成膜，从而谋求作业的高效化。

日本专利第4415584号（专利文献1）公开了利用辊对辊技术的成膜方法的一个例子。在该成膜方法中，在两个辊之间设置一个旋转滚筒，相对于输送基板的一个旋转滚筒，能够实现利用多个靶材进行的连续成膜，从而谋求作业的高效化。

日本特开2010－236076号（专利文献2）、日本特开平07－098854号（专利文献3）公开了，利用该辊对辊技术，特别是能够在双面进行成膜的成膜方法。为了能够进行双面成膜，在此，使用两个旋转滚筒和配置于它们之间的一个卷绕辊，在从输出辊输出的卷筒体上，通过沿彼此相反方向旋转时的两个旋转滚筒进行成膜后，利用卷绕辊进行卷绕。

专利文献1：（日本）专利4415584号

专利文献2：（日本）特开2010－236076号

专利文献3：（日本）特开平07－098854号

功能性薄膜所要求的层结构根据每个使用上述功能性薄膜的装置等而不同，另外，根据功能性薄膜所要求的性能等也不相同。因此，希望使用简单的装置结构，例如，希望开发出能够有效且经济地制造在双面实施真空成膜的层结构的成膜方法。

但是，在专利文献2、专利文献3等公开的技术中，即使能够进行双面成膜，也没有明示在进行双面成膜时，具体如何实施脱气处理、退火处理、成膜处理之类的各种处理，另外，也没有公开能够根据多样的层积体结构而灵活地实施上述处理的装置结构。因此，可能产生例如，在进行成膜后，未充分进行加热处理等，不能使成膜的膜材料完全晶体化之类的问题。

另外，在上述现有装置中，靶材相对于旋转滚筒以规定的间隔被固定，为了对被阴极电极支承的靶材等进行维修而需要中断成膜作业，其结果是，也具有使作业效率恶化的问题等。

发明内容

本发明是为了解决上述现有技术的问题而做出的，目的在于提供一种成膜方法，其基于辊对辊技术，利用简单的装置结构，通过在适当的位置实施适当的加热处理等，特别是谋求最适当的双面真空成膜，能够有效且经济地制造在双面实施真空成膜的层积体。

另外，其目的还在于提供一种能够在连续进行必要的成膜作业的同时，从规定的成膜室拆下例如需要维修的阴极电极而能够谋求使成膜作业高效化的成膜方法。