[发明专利]溅射靶及其制法、利用该靶得到的薄膜、薄膜片及层叠片

说明书

技术领域

本发明涉及一种适于形成透明性、气体遮断性等各种特性优异的薄膜的溅射靶及其制造方法、利用该靶得到的薄膜、具备该薄膜的薄膜片以及层叠片。更详细而言，涉及一种用于形成这些各种特性优异，尤其是适合作为液晶显示器、有机EL显示器、电子纸或太阳能电池模块等气体遮断性材料的薄膜的溅射靶及其制造方法、利用该靶得到的薄膜、具备该薄膜的薄膜片以及层叠片。

背景技术

液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池等设备通常经不起湿气，使其特性因吸湿而迅速地劣化，所以必须配备具有高防湿性、即防止氧或水蒸气等透过或进入的气体遮断性的组件。

例如，在太阳能电池的例子中，在太阳能电池模块的受光面的相反一侧的背面设置有背板。关于该背板，代表性的有在基材上由具有高防湿性的气体遮断性材料和保护它们的部件等构成的背板。

作为这种构成太阳能电池模块的背板，公开有例如通过高强度的耐热性、耐候性树脂夹层防湿性金属箔，另外在其一方设置玻璃质蒸镀皮膜而成的太阳能电池模块的背面保护用片材料（例如参考专利文献1）。在该片材料中，作为气体遮断性材料使用铝箔、镀锌铁箔、镀锡铁箔等金属箔。

另外，公开有将层叠高防湿膜和高耐候膜并使其一体化而成的太阳能电池盖板材料用于背面侧保护部件的太阳能电池（例如参考专利文献2）。该太阳能电池盖板材料中的高防湿膜使用如下膜，即由CVD（化学蒸镀）、PVD（反应蒸镀）法等在PET膜等基材膜上形成防湿膜作为气体遮断性材料，所述防湿膜由二氧化硅、氧化铝等无机氧化物的涂膜构成。另外，公开有具有基材膜和遮断层，且遮断层为通过空心阴极型离子镀成膜的无机氮化物薄膜或无机氮化氧化物薄膜的透明遮断膜（例如参考专利文献3）。另外，公开有在太阳能电池元件的表面设置有阻止水蒸气、氧气、分解物或添加剂的1种以上透过的阻挡层的太阳能电池模块（例如参考专利文献4）。该太阳能电池模块中作为阻挡层使用由通过树脂膜、遮断性树脂膜、无机氧化物的蒸镀膜、由硅化合物的水解得到的缩聚物构成的组合物形成的涂膜或者由其中2种以上构成的复合膜。

另外，公开有具备由呈无机氧化物层且由塑料膜或塑料复合材料构成的遮断层的光伏模块（例如参考专利文献5）。在该无机氧化物层中，作为其涂层材料使用氧化铝或氧化硅。并且，公开有由在耐热、耐候性塑料膜上设置无机氧化物薄膜层并在该薄膜层面上层叠由相同树脂构成的其他耐热、耐候性塑料膜的层叠体构成的太阳能电池用背面保护片（例如参考专利文献6）。该太阳能电池用背面保护片中作为无机氧化物薄膜层使用由氧化硅或氧化铝的任一种形成的薄膜层。

另外，公开有在具有透明性的基材膜上依次层叠掺杂3价以上的金属或半导体而成且具有紫外线屏蔽特性的氧化锌层和气体遮断性优异的金属氧化物层而成的层叠体（例如参考专利文献7）。作为该层叠体的金属氧化物层使用氧化硅、氧化铝或氧化镁。

另外，公开有在高分子膜基材的至少一面通过气相沉积法成膜由金属或金属氧化物构成的气体遮断层，并在该气体遮断层上形成含有超微颗粒的树脂层的具有紫外线防护性的透明性气体遮断性复合膜材料（例如参考专利文献8）。作为该透明性气体遮断性复合膜材料的气体遮断层，使用由铝构成的单层结构或多层结构或者由铝氧化物、硅氧化物及镁氧化物的至少一种构成的单层结构或多层结构。

专利文献1：日本实用新型公告平2-44995号公报（实用新型授权权利要求及5栏的第41～44行）

专利文献2：日本专利公开2000-174296号公报（权利要求1、权利要求7及[0019]段）

专利文献3：日本专利公开2000-15737号公报（权利要求1）

专利文献4：日本专利公开2001-217441号公报（权利要求1及3）

专利文献5：日本专利公表2002-520820号公报（权利要求1及[0019]段）

专利文献6：日本专利公开2002-134771号公报（权利要求1及2）

专利文献7：日本专利公开平7-256813号公报（权利要求1、3及[0015]～[0016]段）

专利文献8：日本专利公开2000-6305号公报（权利要求1、7、8及[0020]段）