[发明专利]用于传送基片的机器人、利用该机器人的多腔室基片处理设备、及用于该设备的控制方法

权利要求书

1.一种基片传送机器人，包括：

基片保持器；

多个机械臂，所述多个机械臂使所述基片保持器能够进行三维运动；以及

装载吸盘，所述装载吸盘设置在所述多个机械臂中的任何一个上，所述装载吸盘从所述基片上方的位置吸附或保持所述基片。

2.根据权利要求1所述的基片传送机器人，其中，所述机械臂包括：

具有所述基片保持器的机械臂；以及

另一机械臂，所述另一机械臂连接于所述具有所述基片保持器的机械臂，并在所述另一机械臂的下部中设置有所述装载吸盘。

3.根据权利要求1所述的基片传送机器人，其中，所述装载吸盘构造成非接触式的吸附吸盘。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的基片传送机器人，其中，在所述装载吸盘的一侧上设置有摄像机。

5.一种基片处理设备，包括：

盒子，基片叠置在所述盒子中；

基片对准器，所述基片对准器用于使所述基片中的每个以预定方向对准；

反应室，所述反应室包括设置有多个基座凹处的基座；以及

基片传送机器人，所述基片传送机器人用于在所述盒子、所述基片对准器、与所述基座凹处之间传送所述基片中的每个，

其中，所述基片传送机器人包括：

基片保持器，所述基片保持器用于将所述基片中的每个从所述盒子传送至所述基片对准器；

装载吸盘，所述装载吸盘用于从所述基片上方的位置吸附或保持通过所述基片对准器对准的所述基片，并用于将所述基片传送至相关联的基座凹处；以及

多个机械臂，所述多个机械臂使所述基片保持器和所述装载吸盘能够在三个维度中移动。

6.根据权利要求5所述的基片处理设备，其中，所述反应室在数量上为至少两个，并且所述基片传送机器人对所述多个反应室执行基片装载和卸载操作。

7.根据权利要求6所述的基片处理设备，其中，所述机械臂包括：

具有所述基片保持器的机械臂；以及

另一机械臂，所述另一机械臂连接于所述具有所述基片保持器的机械臂，并且在所述另一机械臂的下部中设置有所述装载吸盘。

8.根据权利要求6或7所述的基片处理设备，其中，所述装载吸盘构造成非接触式的吸附吸盘。

9.一种用于控制基片处理设备的方法，所述基片处理设备包括：盒子，基片叠置在所述盒子中；基片对准器，所述基片对准器用于使所述基片中的每个以预定方向对准；至少两个反应室，所述至少两个反应室各自包括设置有多个基座凹处的基座；以及基片传送机器人，所述基片传送机器人用于在所述盒子、所述基片对准器、与所述基座凹处之间传送所述基片中的每个，所述方法包括：

（a）利用所述基片传送机器人的基片保持器将所述基片中的每个从所述盒子传送至所述基片对准器；

（b）利用所述基片传送机器人的装载吸盘从所述基片上方的位置吸附或保持通过所述基片对准器对准的所述基片；

（c）将所述装载吸盘移动至相关联的基座凹处上方，并将所述基片装载到所述基座凹处中；以及

（d）利用所述基片传送机器人对所述多个反应室重复步骤（a）至（c）。

10.根据权利要求9所述的方法，进一步包括：

（e）在已在相关联的反应室中完成处理之后，利用所述装载吸盘从所述基座凹处卸载所述基片。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其中，所述装载吸盘构造成非接触式的吸附吸盘。