[发明专利]一种安装晶圆托架的专用工具及其安装方法

权利要求书

1.一种安装晶圆托架的专用工具，包括晶圆托架安装架（3），其特征在于：晶圆托架安装架（3）的上面设有安装架把手（1），安装架把手（1）是通过螺栓（5）将其固定在晶圆托架安装架（3）上的，上述晶圆托架安装架（3）的中心设有定位销（4），螺栓（2）与晶圆托架安装架（3）螺纹联接。

2.一种安装晶圆托架专用工具的安装方法，先将定位销（4）穿过晶圆安装盘（9），把托架安装架（3）和晶圆安装盘（9）定位保证同心，定位之后将四个螺栓（2）与晶圆安装盘（9）上的四个孔位对准并且旋紧固定，这时晶圆安装盘（9）和托架安装架（3）已经完全固定，然后将晶圆托架（8）以晶圆托架安装架（3）的边缘为依托进行定位对正，保证边缘完全贴合将位置对准之后，用螺栓（7）旋紧固定，此时，晶圆托架（8）已经完全固定在晶圆安装盘（9）上，并且保证放在托架上的晶圆与晶圆安装盘（9）是完全对正同心的状态，接下来手持着已经安装完成的安装架放入到真空装载腔的圆形凹槽之中，此圆形凹槽之中有四个安装孔与晶圆托架（8）上的四个螺栓孔（6）相匹配，当真空装载腔凹槽中的四个孔和安装盘上四个孔对准定位之后使用四个沉头螺栓旋紧固定，此时安装架与真空装载腔就已经完全固定，最后将螺栓（2）拧下来，这时托架安装架（3）与晶圆托架（8），晶圆安装盘（9）无连接，手持安装架把手（1）旋转合适角度便可以把托架安装架拿下来了，保证晶圆在真空装载腔中的位置为正中间，从而保证整个PECVD设备中晶圆的精确定位。

3.如权利要求2所述的一种安装晶圆托架专用工具的安装方法，其所述的晶元托架（8）的数量至少为4个，最佳为8个。