[发明专利]电路载体、电路载体装置和制造电路载体的方法无效
申请号: | 201210274308.6 | 申请日: | 2012-08-02 |
公开(公告)号: | CN102915977A | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
发明(设计)人: | 奥拉夫·霍尔费尔德;埃尔玛·库勒;安德烈亚斯·勒尼格尔 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/15 | 分类号: | H01L23/15;H01L23/373;H01L21/48;H05K1/03;H05K7/20 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;李慧 |
地址: | 德国瑙伊*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电路 载体 装置 制造 方法 | ||
1.一种电路载体(100),包括:底侧(100b);在垂直方向(v)上与所述底侧间隔开的顶侧(100t);由陶瓷材料制成的陶瓷体(1),所述陶瓷体具有多个其中没有所述陶瓷体(1)的陶瓷材料的间隙(3);以及固态的填充金属(2);其中,所述间隙(3)在整体上却部分地未完全填充所述填充金属(2)。
2.根据权利要求1所述的电路载体(100),其中,所述陶瓷体(1)具有的总体积是所述陶瓷材料和所述间隙(3)的体积之和,其中,位于所述间隙(3)中的所述填充金属(2)的体积占所述陶瓷体(1)总体积的至少10%,并且最多90%;或者占所述陶瓷体(1)的总体积的至少20%,并且最多80%。
3.根据权利要求1或2所述的电路载体(100),其中,连接在一起的、非中断的空间区域(18)是方形的,具有垂直于所述垂直方向(v)延伸的、至少3mmx3mm的底面,并且在所述垂直方向(v)上具有至少100μm的厚度(d18),所述空间区域完全布置在所述陶瓷体(1)内的所述顶侧(100t)和所述填充金属(2)之间,所述空间区域没有导电材料。
4.根据上述权利要求中任一项所述的电路载体(100),其中,所述填充金属(2)具有位于所述底侧(100b)和陶瓷体(1)之间的部段,其中,所述填充金属(2)构成连续封闭的层(20),所述层覆盖所述陶瓷体(1)的背离所述顶侧(100t)的一侧。
5.根据权利要求4所述的电路载体(100),其中,所述连续封闭的层(20)在所述垂直方向(v)上具有小于10mm的厚度(d20),或者具有的厚度(d20)的范围为100μm至500μm。
6.根据上述权利要求中任一项所述的电路载体(100),具有导电层(6),所述导电层直接涂覆在所述陶瓷体(1)的背离所述底侧(100b)的所述一侧上。
7.根据上述权利要求中任一项所述的电路载体(100),具有固态的电介质(4),利用所述电介质完全地或者部分地填充所述未填充所述填充金属(2)的间隙(3)。
8.根据权利要求7所述的电路载体(100),其中,所述固态的电介质(4)具有位于所述顶侧(100t)和所述陶瓷体(2)之间的部段,其中,所述电介质(4)构成连续封闭的层。
9.根据权利要求7或8中任一项所述的电路载体(100),具有导电层(6),所述导电层直接涂覆在所述固态的电介质(4)的背离底侧(100b)的所述一侧上。
10.根据上述权利要求中任一项所述的电路载体(100),其中,所述陶瓷体(1)由以下材料中的一种制成,或者具有以下材料中的一种或者多种:氧化铝(Al2O3);氮化铝(AlN);氮化硅(Si3N4);碳化硅(SiC);二硼化钛(TiB2)。
11.根据上述权利要求中任一项所述的电路载体(100),其中,所述陶瓷体(1)在其背离底侧(100b)的所述一侧上具有盆形的凹陷处。
12.根据上述权利要求中任一项所述的电路载体(100),其中,所述填充金属(2)完全地或者原子百分比的至少90%由金属铝(Al)、铜(Cu)、镁(Mg)、锑(Sb)、锶(Sr)、锌(Zn)中的一种构成;或者由合金构成,所述合金的原子百分比的至少90%由金属铝(Al)、铜(Cu)、镁(Mg)、锑(Sb)、锶(Sr)、锌(Zn)中的一种或多种构成。
13.根据上述权利要求中任一项所述的电路载体(100),所述电路载体在垂直方向(v)上具有厚度(d100),所述厚度为
-至少0.1mm或者至少0.5mm或者至少1.0mm;和/或
-小于或等于20mm、小于或等于50mm或者小于或等于100mm。
14.根据前述权利要求中任一项所述的电路载体(100),其中,所述陶瓷体(1)在所述垂直方向(v)上具有厚度(d1),并且其中,所述填充金属(2)从所述陶瓷体(1)的所述底侧(100b)出发在所述垂直方向(v)上延伸至所述陶瓷体(1)的深度(d12)处,所述深度为
-至少1mm;或者
-至少是所述陶瓷体(1)的厚度(d1)的0.1倍和/或最高是0.9倍。
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