[发明专利]用于在薄膜气相沉积装置中计量粒状源材料的装置

权利要求书

1.一种计量机构(200)，配置成用于将测定剂量的粒状材料从第一位置移送到第二位置，所述计量机构(200)包括：

      接收器(208)，其布置成从所述第一位置接收粒状材料，所述接收器具有出口(212)；

      排出端口(214)，其从所述接收器出口轴向地偏移；

      往复式递送部件(216)，其具有贯通其限定的通路；以及

      可控驱动装置(222)，其配置成使所述递送部件在负载位置和排出位置之间沿往复路径移动，在所述负载位置，所述通路与所述接收器出口对准，在所述排出位置，所述通路与所述排出端口对准；

      其中，从所述第一位置移送到所述第二位置的粒状材料的量是所述通路的体积和所述递送部件的往复速率的函数。

2.根据权利要求1所述的计量机构(200)，其特征在于，所述接收器(208)包括漏斗并且所述递送部件(216)包括在所述漏斗下方的往复路径中的可移动部件，并且还包括冲程限制器(230)，所述冲程限制器(230)在用于检测所述接收器的过满状态且允许所述递送部件的仅仅部分冲程直到所述过满状态被清除的位置布置在所述递送部件(216)上，所述部分冲程仍从所述通路排出全部量的源材料。

3.根据权利要求1或2所述的计量机构(200)，其特征在于，所述冲程限制器(230)包括机械传感器(232, 234)，所述机械传感器(232, 234)布置在所述接收器(208)上方的位置，以便被来自所述接收器的溢流粒状材料接合。

4.根据前述权利要求中的任一项所述的计量机构(200)，其特征在于，所述计量机构(200)还包括检测所述递送部件(216)的全冲程的全冲程传感器(240)，并且还包括与所述全冲程传感器通信的控制器(238)，其中，在从所述全冲程传感器接收到限定数量的全冲程信号后，所述控制器发送控制信号以导致额外的粒状材料沉积在所述接收器中。

5.一种供给系统(100)，用于向气相沉积装置(60)连续地供给测定计量的源材料，所述系统包括：

      散料料斗(102)；

      上剂料容器(104)，其布置成从所述料斗接收源材料；

      移送机构(132)，其布置在所述剂料容器的下游，所述移送机构配置成将所述源材料移送到下游的沉积头(62)，同时隔离所述沉积头内的沉积状态并阻止升华的源向上游扩散到所述供给系统；

      根据前述权利要求中的任一项所述的计量机构(200)，其可操作地布置在所述移送机构的上游。

6.根据权利要求5所述的供给系统(100)，其特征在于，所述驱动装置(222)包括带有气动活塞(226)的气动驱动装置。

7.根据权利要求5或6所述的供给机构(100)，其特征在于，所述递送部件(216)包括在所述接收器下方的往复路径中的可移动部件，并且还包括冲程限制器(230)，所述冲程限制器(230)在用于检测所述接收器(208)的过满状态且允许所述递送部件的仅仅部分冲程直到所述过满状态被清除的位置布置在所述递送部件上，所述部分冲程仍从所述通路排出全部量的源材料。

8.根据权利要求5至7中的任一项所述的供给系统(100)，其特征在于，所述冲程限制器(230)包括布置在所述接收器(208)上方的位置的机械传感器(232, 234)，所述机械传感器(232, 234)接合来自所述接收器的溢流源材料。

9.根据权利要求8所述的供给系统(100)，其特征在于，所述供给系统(100)还包括检测所述递送部件(216)的全冲程的全冲程传感器(240)以及与所述全冲程传感器和所述剂料容器(104)通信的控制器(238)，其中，在从所述全冲程传感器接收到限定数量的全冲程信号后，所述控制器向所述剂料容器发送控制信号以将测定剂量的源材料递送至所述接收器。