[发明专利]一种涂布喷嘴清洗装置

说明书

技术领域

本发明涉及平板显示器加工技术领域，特别涉及一种涂布喷嘴清洗装置。

背景技术

在目前应用的平板显示器加工工艺当中，传统工艺为在基板上沉积膜层，之后在基板上均匀涂布感光材料，利用掩膜版（mask）进行紫外线曝光和显像，最终得到相应掩膜版图案。

以薄膜晶体管液晶显示器（Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，TFT-LCD）为例。目前常用的感光材料涂布方式为两种：一种为直接涂布方式，即一次将感光材料涂布于基板之上，而且满足感光材料涂布均匀性和平整度工艺要求；另一种为预先在基板上涂布感光材料，之后将基板放在离心设备上进行高速旋转，将基板上感光材料旋转均匀。上述的两种感光材料涂布方式都是通过使用涂布喷嘴来实现感光材料涂布的。

请参考图1和图2，图1为涂布喷嘴的结构示意图；图2为感光材料在涂布喷嘴喙部的状态示意图。

如图1所示，涂布喷嘴包括喷嘴第一半体11和喷嘴第二半体12，喷嘴第一半体11和喷嘴第二半体12之间通过调节螺钉15连接；喷嘴第一半体11和喷嘴第二半体12设置有至少两个固定块14，每一个固定块14与涂布设备的移动部连接，从而通过涂布设备的移动部带动涂布喷嘴沿涂布方向移动并进行涂布。

如图1所示，在压力泵的均匀压力作用下将正常感光材料18通过感光材料输入端13压入喷嘴第一半体11和喷嘴第二半体12之间形成的狭缝中。

当涂布喷嘴进行感光材料涂布时，在压力泵均匀压力的作用下，正常感光材料18通过涂布喷嘴喙部D均匀地喷涂于基板16上。

但是，如图2所示，涂布喷嘴涂布完成一张基板16之后，在等待对下一张基板16进行涂布的过程中会存在时间差；由于正常感光材料18为液态，会有一部分正常感光材料18流出涂布喷嘴喙部D的狭缝，凝聚在涂布喷嘴喙部D的底端面上，此部分感光材料会直接与空气接触一段时间；由于正常感光材料18内部的成分溶剂具有较强的易挥发性，从而导致流出涂布喷嘴喙部D外部的感光材料的性质发生变化，形成变质感光材料19。当涂布喷嘴对下一张基板16进行涂布时，变质感光材料19首先会涂布在基板16的起涂区域17处，导致基板16的起涂区域17内涂布的感光材料出现涂布不均的现象，从而对基板16的后工序加工造成影响，影响基板16产品的质量。

因此，如何提供一种涂布喷嘴清洗装置，能够在涂布喷嘴进行涂布前将涂布喷嘴喙部已经变质的感光材料去除，进而提高基板产品涂布感光材料的均匀性，降低对基板后工序加工的影响，是本领域技术人员需要解决的技术问题。

发明内容

本发明实施例提供一种能够在涂布喷嘴进行涂布前将涂布喷嘴喙部已经变质的感光材料去除的涂布喷嘴清洗装置，进而提高基板产品涂布感光材料的均匀性，降低对基板后工序加工的影响。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种涂布喷嘴清洗装置，包括：机架和滚轴；所述滚轴的两端分别枢装于所述机架的安装座上，且所述滚轴在两所述安装座之间的长度大于所述涂布喷嘴喙部的长度，且所述滚轴的直径大于所述涂布喷嘴喙部底端面的宽度；所述滚轴的一端设置有驱动装置。

优选地，还包括：多个滚轴清洗针，沿所述滚轴的延伸方向安装于所述机架上；

每一个所述滚轴清洗针的清洗液输入端与高压清洗液注入装置连通，且喷口指向所述滚轴。

优选地，所述滚轴上所述滚轴清洗针的清洗点的相切平面与所述滚轴清洗针的喷射方向之间的角度的取值范围为：30°~60°。

优选地，还包括：多个滚轴气体清洁针，沿所述滚轴的延伸方向安装于所述机架上；

每一个所述滚轴气体清洁针的气体输入端与高压气体注入装置连通，且喷口指向所述滚轴。

优选地，还包括：多个涂布喷嘴喙部侧面清洗针，沿所述滚轴延伸方向安装于所述机架上；

每一个所述涂布喷嘴喙部侧面清洗针的清洗液输入端与高压清洗液注入装置连通，且喷口指向所述涂布喷嘴喙部侧面。

优选地，所述涂布喷嘴喙部侧面清洗针的喷射方向指向斜下方，且与所述涂布喷嘴喙部侧面之间所成的角度小于90°。

优选地，还包括：多个涂布喷嘴喙部侧面气体清洁针，沿所述滚轴延伸方向均匀设置于所述机架上；

每一个所述涂布喷嘴喙部侧面气体清洁针的气体输入端与高压气体注入装置连通，且喷口指向所述涂布喷嘴喙部侧面。

优选地，所述机架内侧形成废液槽，所述机架的安装座分别为所述废液槽的第一侧壁和第二侧壁；