[发明专利]支撑脚装置

权利要求书

1.一种支撑脚装置，其特征在于，包括：支撑脚本体、支撑脚螺母和支撑环，所述支撑脚本体位于支撑环上表面，所述支撑脚螺母穿过支撑环下表面与所述支撑脚本体通过紧固件紧固，所述支撑脚本体和支撑脚螺母夹紧所述支撑环。

2.如权利要求1所述的支撑脚装置，其特征在于，所述支撑脚本体包括：在所述支撑脚本体上表面开设的调节所述支撑脚本体到所述支撑环圆心的距离的长形圆孔，在所述支撑脚本体下表面开设的使支撑脚本体滑行的滑行槽，所述滑行槽与所述长形圆孔连通；所述支撑脚本体还包括支撑晶片的斜行面和防止机械手碰撞的槽孔。

3.如权利要求2所述的支撑脚装置，其特征在于，支撑脚螺母包括：在所述支撑脚螺母上表面开设的紧固所述支撑脚本体的螺纹孔，所述螺纹孔上下贯通所述支撑脚螺母，所述支撑脚螺母还包括：卡入所述滑行槽的滑行块、固定所述支撑环的突出块和挡板，所述滑行块的宽度与滑行槽内壁之间的宽度相同，所述挡板的上表面与所述支撑环的下表面紧密贴合。

4.如权利要求3所述的支撑脚装置，其特征在于，所述支撑环包括：两个套连的同心圆环。

5.如权利要求4所述的支撑脚装置，其特征在于，所述支撑脚螺母突出块上设有两个圆弧面，所述两个圆弧面与所述两个套连的同心圆环之间的内圆面接触，并且所述突出块的宽度与所述两个同心圆环之间的距离相等。

6.如权利要求3所述的支撑脚装置，其特征在于，所述卡入滑行槽的滑行块的上表面与滑行槽留有间隙。

7.如权利要求1所述的支撑脚装置，其特征在于，所述支撑脚本体及支撑脚螺母至少为3件。

8.如权利要求1所述的支撑脚装置，其特征在于，所述紧固件为螺栓。