[发明专利]一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法

权利要求书

1.一种多级浮动涡旋真空泵，包括若干串联连接的真空泵，每一所述真空泵包括：

一固定涡卷基座；

一位于所述基座上的固定涡卷；以及

一相对于所述固定涡卷做绕动运动的绕动涡卷；

其特征在于，位于所述固定涡卷外圈涡卷元件的端板上开设进气口，位于所述固定涡卷内圈涡卷元件的端板上开设排气口；所述排气口具有一排气阀组件，用于开启或关闭所述排气口；所述真空泵还包括气管，每一下游的真空泵的进气口通过所述气管与相邻的上游的真空泵的排气口连接。

2.根据权利要求1所述多级浮动涡旋真空泵，其特征在于，所述排气阀组件包括舌簧阀片和限位板，所述固定涡卷内圈涡卷元件的端板上还具有气阀室，所述气阀室通过所述气管与下游的所述真空泵的进气口连接，并且所述气阀室贯穿所述基座，所述限位板的一端固设在所述气阀室内的固定涡卷的端板上，并且所述限位板下压所述舌簧阀片。

3.根据权利要求2所述多级浮动涡旋真空泵，其特征在于，所述舌簧阀片可弹性地开启或关闭所述排气口；当所述舌簧阀片紧贴所述排气口时，所述舌簧阀片关闭所述排气口，当所述舌簧阀片开启时，并紧贴所述限位板的另一端，以此限制所述舌簧阀片的上升。

4.根据权利要求3所述多级浮动涡旋真空泵，其特征在于，还包括有一阀盖，所述阀盖覆盖于所述基座上的所述气阀室。

5.根据权利要求4所述多级浮动涡旋真空泵，其特征在于，所述气管贯穿所述阀盖，并与所述气阀室连通。

6.根据权利要求1所述多级浮动涡旋真空泵，其特征在于，所述真空泵的数量为两个。

7.根据权利要求6所述多级浮动涡旋真空泵，其特征在于，下游的所述真空泵安装所述排气阀组件。

8.根据权利要求1所述多级浮动涡旋真空泵，其特征在于，所述真空泵的数量为三个以上。

9.根据权利要求8所述多级浮动涡旋真空泵，其特征在于，最下游的所述真空泵安装所述排气阀组件。

10.一种如权利要求1至9中任意一项所述多级浮动涡旋真空泵的使用方法，其特征在于，使用相连通的多个真空泵，通过所述气管从最上游的真空泵的进气口中抽气，从最下游的真空泵的排气口中排气，以提高真空度。