[发明专利]基于电磁力补偿的消除惯性力影响的气浮随动装置

权利要求书

1.一种基于电磁力补偿的消除惯性力影响的气浮随动装置，包括气浮轴、气浮套和长距离导轨气浮滑轮，所述气浮套套装在所述气浮轴上，所述气浮套有两个，所述气浮套均与贮气套密封连接，所述贮气套与气浮轴之间为贮气腔，所述气浮轴的轴心开有进气通道，所述进气通道的一端连接主供气管，所述进气通道的另一端与所述贮气腔连通，所述贮气腔设有出气口，所述出气口通过连接气管与各个气浮套的进气口连通；所述贮气套上套装吊挂绳，所述运动件吊装在所述吊挂绳上；其特征在于：所述气浮随动装置还包括用于检测吊挂绳与贮气套之间是否出现倾斜的加速度传感器和用于抵消惯性力影响的电磁力产生机构，所述加速度传感器安装在运动件上，所述电磁力产生机构包括电磁铁和永磁体，所述电磁铁装在安装座内上，所述永磁体装在贮气套上，所述永磁体正对所述电磁铁。

2.如权利要求1所述的基于电磁力补偿的消除惯性力影响的气浮随动装置，其特征在于：所述电磁铁装在安装座左端，所述永磁体装在贮气套右端。

3.如权利要求1或2所述的基于电磁力补偿的消除惯性力影响的气浮随动装置，其特征在于：所述气浮轴的两端分别套装安装座，所述安装座与所述滑台固定连接，所述滑台连接到长距离直线导轨上，光栅尺装在贮气套中间位置，光栅尺读数头装在安装座中间位置，所述光栅尺读数头正对光栅尺。