[发明专利]太阳能基板薄膜多任务测量系统

权利要求书

1.一种太阳能基板薄膜多任务测量系统，其特征在于，包括：

测量平台、光源、用于获取晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值的光谱仪、计算机；

所述测量平台可同时放置晶硅基板和晶硅参考样品，并且所述测量平台中入射光入射角度可进行调整；

所述计算机通过控制电缆与所述测量平台相连；所述计算机通过数据线与所述光谱仪相连，接收晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值，并根据晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值计算晶硅基板的膜厚、材料光学常数及相应的粗糙度修正系数α；所述测量平台通过“Y”形光纤分别与所述光源和光谱仪连接。

2.根据权利要求1所述的太阳能基板薄膜多任务测量系统，其特征在于，所述测量平台包括：

底板、XY电动平移台、基板平台、测量头；

所述基板平台安装在所述XY电动平移台上；所述XY电动平移台和所述测量头安装在所述底板上；

所述测量平台通过所述测量头使入射光角度可在0度和54.7度之间切换；

所述XY电动平移台为两自由度定位平台，并可通过所述计算机的控制作X方向或Y方向的平面运动。

3.根据权利要求2所述的太阳能基板薄膜多任务测量系统，其特征在于，所述基板平台包括：

圆盘、多个压板；所述圆盘设有单晶硅基板槽；所述单晶硅基板槽上方设有多晶硅基板槽；所述多晶硅基板槽四周设有一个或多个多晶硅参考样品槽，以及一个或多个单晶硅参考样品槽；所述压板分别与所述多晶硅参考样品槽和单晶硅参考样品槽配合使用以固定参考样品；所述单晶硅参考样品槽的槽平面高度与单晶硅基板槽的槽平面高度一致；所述多晶硅参考样品槽的槽平面高度与多晶硅基板槽的槽平面高度一致。

4.根据权利要求3所述的太阳能基板薄膜多任务测量系统，其特征在于：所述多晶硅参考样品槽设置在多晶硅基板槽左侧，所述单晶硅参考样品槽设置在多晶硅基板槽右侧，并且，所述多晶硅基板槽上侧还设置有与多晶硅基板槽方形边成45度角的单晶硅参考样品槽，所述单晶硅基板槽和多晶硅基板槽的前方设有一个用于镊子夹取和放置单晶硅基板或多晶硅基板的镊子槽。

5.根据权利要求3所述的太阳能基板薄膜多任务测量系统，其特征在于：

所述单晶硅基板槽为方形凹槽，其边长为126mm，且深度为0.4mm；

所述多晶硅基板槽为方形凹槽，其边长为166mm，且深度为0.2mm。

6.根据权利要求2所述的太阳能基板薄膜多任务测量系统，其特征在于，所述测量头包括：

立柱组件、光纤支架组件、横梁组件；

所述光纤支架组件的一端通过所述立柱组件与所述横梁组件的一端连接，另一端与横梁组件的另一端连接。

7.根据权利要求6所述的太阳能基板薄膜多任务测量系统，其特征在于，所述立柱组件包括：

立柱、转接件、轴、轴承、轴承盖、第一磁铁、第二磁铁、第一限位块及第二限位块；

所述转接件与所述立柱连接；

所述第一限位块、第二限位块均固定于所述立柱上部，且位于立柱的轴承安装孔的外侧；所述第一磁铁与所述第一限位块固定连接；所述第二磁铁与所述第二限位块固定连接；

所述轴两端分别安装所述轴承，并穿入所述立柱上部的轴承安装孔中，所述轴承盖分别将轴承固定于立柱上。

8.根据权利要求7所述的太阳能基板薄膜多任务测量系统，其特征在于：

所述立柱为柱状结构，上侧中部开有所述轴承安装孔；所述立柱底部开有多个安装孔，安装孔上部有方形缺口；所述立柱与所述底板通过所述转接件连接；

所述轴承安装孔两端分别开有圆形轴承盖安装孔、外侧设有多个所述限位块安装螺纹孔；所述轴承盖安装孔沿圆周均布若干个螺纹孔；

所述轴承盖中间开设有圆孔，轴两端分别穿过该圆孔，并可以自由旋转；

所述轴的两个端面上分别设有螺纹孔。