[发明专利]基板搬送装置、基板搬送方法及表面安装机

权利要求书

1.一种基板搬送装置，其特征在于：

将停止在第1位置的基板向第2位置搬送并使该基板停止在所述第2位置，所述基板搬送装置包括：

基板搬送机构，沿着从所述第1位置到所述第2位置的基板搬送路径来搬送所述基板；

检测单元，对沿着所述基板搬送路径移动到所述第1位置与所述第2位置之间的中间位置的所述基板进行检测；

控制单元，控制所述基板搬送机构；其中，

所述控制单元包括：

时间计测部，计测从停止在所述第1位置的所述基板的搬送开始至由所述检测单元检测到所述基板为止所需的中间位置到达时间；

速度控制部，根据所述中间位置到达时间来控制使由所述检测单元检测到的所述基板减速的减速模式，使得所述基板停止在所述第2位置。

2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于：

所述控制单元还包括：

存储部，存储预测时间，所述预测时间是预测将停止在所述第1位置的基板以预先设定的加减速模式向所述第2位置搬送时从所述基板的搬送开始至由所述检测单元检测到所述基板为止所需的时间；

时间差算出部，算出所述中间位置到达时间相对于所述预测时间的时间差；其中，

所述速度控制部基于所述时间差来决定所述减速模式。

3.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于：

所述速度控制部控制使由所述检测单元检测到的所述基板减速的减速开始时期及所述减速开始时期后的减速度，从而所述基板搬送机构以所述减速模式将由所述检测单元检测到的所述基板搬送到所述第2位置。

4.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于：

在所述时间差处于预先设定的允许范围内时，所述控制单元按照所述预先设定的加减速模式来让所述基板搬送机构搬送由所述检测单元检测到的所述基板。

5.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于：

在所述时间差处于预先设定的允许范围外且所述中间位置到达时间比所述预测时间长时，所述控制单元以比所述预先设定的加减速模式的减速度小的减速度来让所述基板搬送机构搬送由所述检测单元检测到的所述基板。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的基板搬送装置，其特征在于：

以预先设定的顺序来搬送多个同一品种的基板，

在第(n-1)个基板以所述预先设定的加减速模式被搬送到第2位置的情况下，所述控制单元将所述预先设定的加减速模式改换成具有比搬送第(n-1)个基板时的加速度大的加速度的加减速模式，来让所述基板搬送机构将停止在所述第1位置的第n个基板以改换后的加减速模式向所述第2位置搬送，其中，n为2以上的自然数。

7.根据权利要求6所述的基板搬送装置，其特征在于：

所述控制单元对应于所述加减速模式的改换来运算从停止在所述第1位置的所述第n个基板的搬送开始至由所述检测单元检测到所述基板为止所需的时间，将所述预测时间改换成通过该运算求得的时间。

8.一种基板搬送方法，其特征在于：

将停止在第1位置的基板向第2位置搬送并使该基板停止在所述第2位置，所述基板搬送方法包括以下步骤：

计测从停止在所述第1位置的基板的搬送开始至所述基板移动到从所述第1位置到所述第2位置的基板搬送路径的中间位置为止所需的中间位置到达时间的步骤；

根据所述中间位置到达时间来控制使被搬送到所述中间位置的所述基板减速的减速模式以使所述基板停止在所述第2位置的步骤。

9.一种表面安装机，其特征在于包括：

元件供应部，供应元件；

权利要求1至7中任一项所述的基板搬送装置；

头部单元，能够在被定位于所述基板搬送装置的所述第2位置的基板的上方与所述元件供应部的上方之间移动，将从所述元件供应部供应的元件移载到所述基板上。

10.根据权利要求9所述的表面安装机，其特征在于：

所述检测单元安装在所述头部单元上，能够与所述头部单元一体地移动。