[发明专利]蓝宝石单晶制造用冷却装置

权利要求书

1.一种蓝宝石单晶制造用冷却装置，其特征在于：

包括形成有位于内部底面固定有籽晶结晶的坩埚下部、向固定有籽晶结晶的部位供应冷媒的供应管，把冷却坩埚下部的冷媒排出的冷媒排出管的冷媒循环部；由连接冷媒供应管的入口和冷媒排出管出口的内部管，环抱所述 内部管、内部有冷媒循环的外部管形成双重管结构的第1冷却部；内部形成有装放所述第1冷却部的冷却槽，填充有冷却水的第2冷却部。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶制造用冷却装置，其特征在于：

冷媒供应管和冷媒排出管的连接部具有双重管结构，位于外侧的冷媒排出管的端部闭口，位于该冷媒排出管内部的冷媒供应管端部开放、并与冷媒排出管端部相隔一定间距，而在冷媒排出管闭口的端部内侧边缘、形成有曲面部。

3.根据权利要求1或2所述的蓝宝石单晶制造用冷却装置，其特征在于：

还包括设置在第1冷却部的内部管两端部，检测供应侧冷媒和排出侧冷媒温度的温度传感器。

4.根据权利要求3所述的蓝宝石单晶制造用冷却装置，其特征在于：

还包括根据所述温度传感器所测的温度，对供向第1冷却部外部管的冷却水供应量进行调节的控制部。

5.根据权利要求4所述的蓝宝石单晶制造用冷却装置，其特征在于：

还包括位于所述第1冷却部的冷却水入口侧，根据控制部的控制信号，对冷却水的供应量进行调节的供应泵。