[发明专利]蓝宝石晶锭制造用长晶炉侧盾

说明书

技术领域

本发明涉及蓝宝石晶锭制造用长晶炉侧盾，尤其涉及易于提高蓝宝石晶锭长晶炉内的影响温度分布的侧盾形状精密度和摆放精密度的蓝宝石晶锭制造用长晶炉侧盾。

背景技术

LED市场规模随着大中型LCD电视用BLU、汽车前灯、普通照明市场的高速增长，呈现每年50%以上的高增长态势，韩国在该领域也得到高增长。而照明用LED与原有的荧光灯及白炽灯相比耗电量低10~15%，使用寿命达10万小时以上，又兼具环保特征、可大幅降低能源消耗，因此作为下一代照明技术受到广泛关注。对于这种LED制造技术来说，其必备素材是可真空镀膜GaN、GaAIN等化合物半导体Epi层的蓝宝石基板。

现有的蓝宝石长晶方法有焰熔法（Verneuil Method），布里奇曼法(Bridgman)，定边膜喂法（EFG; Edge-Defined Film-Feed Growth），乔克拉尔斯基法(Czochralski Method)，热交换法（HEM, Heat Exchange Method）等。

作为蓝宝石单晶长晶现有技术，有日本专利公开2008-266078号、日本专利公开2008-031019号、日本专利公开2005-231958号。日本专利公开2008-266078号涉及利用氧化锆、通过拉升法制造杂质少的高质量蓝宝石单晶的技术。日本专利公开2008-031019号涉及调节籽晶旋转速度、拉升距离，制造蓝宝石单晶的制造方法。日本专利公开2005-231958号的长晶炉包括设置在腔体内的高频感应线圈，耐火坩埚，铱坩埚，隔热材料，耐火坩埚支撑筒，设置在耐火坩锅底部的加热器。

作为现有蓝宝石单晶长晶技术，韩国有专利注册第10-0573525号，实用新型注册第20-0331108号。专利注册第10-0573525号的单晶长晶装置具有双重冷却系统，包括在底面放置结晶的坩埚、设置在坩埚周围的加热器，并利用以真空泵形成内部真空状态的普通单晶长晶炉、通过热交换法制造蓝宝石单晶。实用新型注册第20-0331108号的长晶炉包括以密封状态填充油隔热材料的长晶炉，设置在长晶炉内部、让氧化物长晶、并让氧化物顺畅流动的圆柱形坩埚，与上述坩埚形成同心结构，并与之相隔一定间距的加热器，设置在坩埚和加热器之间的散热板及设置在坩埚下部、通过水冷管冷却的热交换器。

想要通过这些长晶装置获得没有缺陷的蓝宝石单晶，必须要做到长晶炉内的温度分布尽量不变。

即，相应温度分布与隔热材料的形状精密度、摆放精密度息息相关，而这些精密度越低，长晶炉的温度梯度及温度分布变化量越高，长晶的再现性越差。

通常作为隔热材料使用氧化铝陶瓷和氧化锆陶瓷等陶瓷。

而这种隔热材料受到热冲击时会产生裂纹。另外隔热材料在高温条件下会逐渐分解，产生氧气，石墨（carbon）发生汽化。因此陶瓷或氧化锆不适合于做蓝宝石单晶长晶炉的隔热材料。

另外，日本专利公开平7-277869号公报的石墨毡（carbon felt）是柔软的材料，可以解决高温下发生裂纹的问题。但其耐重力性能低，由于重力逐渐变形，很难使用大型石墨毡。如上所述，偶遇长晶炉内的温度分布发生变化，导致长晶再现性恶化，有必要防止变形、提高摆放精密度。

发明内容

本发明是鉴于如上所述现有技术的问题而提出的，其目的在于提供一种易于提高蓝宝石晶锭长晶炉内的影响温度分布的侧盾形状精密度和摆放精密度的蓝宝石晶锭制造用长晶炉侧盾。

为了达到如上所述的目的，本发明的蓝宝石晶锭制造用长晶炉侧盾，其包括重叠摆放，以多层结构环抱蓝宝石晶锭长晶炉的两个以上圆筒形隔热板；介于各圆筒形隔热板之间，维持各圆筒形隔热板之间间隔的隔圈；贯穿组装两个以上圆筒形隔热板的组装部件。

所述隔圈具有波纹状带型板材，环抱圆筒形隔热板外周面。

所述隔圈按上下方向相隔一定间距排列多个。

所述组装部件的两端部贯穿组装在圆筒形隔热板的与隔圈上端部和下端部相隔一定间距的部位。

所述隔圈的两侧面与相邻的圆筒形隔热板紧密接触。

所述圆筒形隔热板由各端部相互重叠的至少两个板材构成，重叠的端部通过固定部件固定。

本发明的有益效果是易于提高蓝宝石晶锭长晶炉内的影响温度分布的侧盾形状精密度和摆放精密度。

另外，本发明用多个圆筒形隔热板构成侧盾（SIDE SHIELD），在各圆筒形隔热板之间设置隔圈，稳固地维持各圆筒形隔热板之间的间距，可以防止侧盾由于热冲击发生变形。