[发明专利]一种用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法有效
| 申请号： | 201210287522.5 | 申请日： | 2012-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN102776509A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 何军舫;房明浩;刘艳改;黄朝晖 | 申请（专利权）人： | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00;C09D1/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 101101 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用后热解 氮化 坩埚 表面 修复 方法 | ||
1.一种用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法，其特征在于，包括如下步骤：先将氧化硼粉与酚醛树脂配制成料浆；再将配制好的料浆均匀涂覆于清洗干净的需要修复的用后热解氮化硼坩埚表面并干燥；然后将上述干燥后的热解氮化硼坩埚置于高温气氛炉加热，在一定气氛条件下反应，原位生成氮化硼涂层；最后将表面打磨抛光后即得到修复后的热解氮化硼坩埚。
2.根据权利要求1所述的用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法，其特征在于，其中，氧化硼粉纯度高于99.9%，粒度小于0.074毫米。
3.根据权利要求1所述的用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法，其特征在于，氧化硼粉与酚醛树脂的质量比范围在1～5:1。
4.根据权利要求1所述的用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法，其特征在于，将配制好的料浆采用刷涂法、喷涂法、旋涂法或提拉法均匀涂覆于清洗干净的用后热解氮化硼坩埚表面，涂覆厚度需要使涂层完全覆盖损伤表面。
5.根据权利要求1所述的用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法，其特征在于，将涂覆有料浆的用后热解氮化硼坩埚置于高温气氛炉中加热的条件为，以1-10℃/分钟升温至300-500℃，保温3-24小时，继续以1-10℃/分钟升温至1100-1600℃保温1-24小时，原位生成BN涂层。
6.根据权利要求1所述的用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法，其特征在于，将涂覆有料浆的用后热解氮化硼坩埚置于高温气氛炉中加热时，需要通入气体，所述气体为氮气、氨气或两者的混合气。
7.根据权利要求1所述的用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法，其特征在于，需要修复的用后热解氮化硼坩埚表面采用水、无水乙醇、甲醇或丙酮作为清洗介质，或采用超声清洗。
8.根据权利要求1所述的用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法，其特征在于，将高纯氧化硼粉与酚醛树脂的乙醇溶液混合，配置成氧化硼-酚醛树脂浆料。
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