[发明专利]用于玻璃衬底的裂片设备有效
申请号: | 201210287597.3 | 申请日: | 2012-08-13 |
公开(公告)号: | CN103382080A | 公开(公告)日: | 2013-11-06 |
发明(设计)人: | 卢亨祥;具滋瑢;金圣撤;朴源圭;李昌夏 | 申请(专利权)人: | 三星康宁精密素材株式会社 |
主分类号: | C03B33/02 | 分类号: | C03B33/02 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 韩国庆尚北*** | 国省代码: | 韩国;KR |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 玻璃 衬底 裂片 设备 | ||
技术领域
本发明涉及用于玻璃衬底的裂片设备(breaking apparatus),且更具体而言,本发明涉及以下一种用于玻璃衬底的裂片设备,其具有空气缓冲结构,从而能防止已遭受异常划片的玻璃衬底在从玻璃衬底除去切边(trim)的过程中发生裂纹扩散以及完全破裂。
背景技术
在平板显示器(例如,LCD、PDP以及类似显示器)的制造过程中,一般使用玻璃衬底。以大型薄片的形式制备平板显示器的玻璃衬底,所述大型薄片被切割成适合平板显示器的大小。
有多种玻璃衬底切割方法,例如,刀轮划片法(wheel scribing method)、激光切割法以及类似方法。刀轮划片法采用切割刀轮,激光切割法采用激光束。在这些方法中,在玻璃衬底的表面上预先形成切割线(例如,划片线),并使用裂片棒向切割线施加载荷以切割玻璃衬底。
传统裂片设备具有下压棒结构,所述下压棒结构包含通过致动器等驱动单元进行垂直往复的裂片棒。
当使用传统裂片设备切割玻璃衬底时,裂片棒安置在玻璃衬底的上方,平行于预先在玻璃衬底上形成的划片线,且裂片棒下降,沿划片线按压玻璃衬底,以加深玻璃衬底上沿划片线形成的裂纹,从而切割玻璃衬底。
然而,当通过任何传统方法(例如,刀轮划片法或激光切割法)切割玻璃衬底时,会发生不同方式的划片失败,所述不同方式取决于所采用的切割方法的种类。例如,在刀轮划片法中,由于划片刀轮的磨损或更换之后的异常设定(setup),玻璃衬底可能遭受划片失败,从而导致未在玻璃衬底的表面上产生横向裂纹,且未在玻璃衬底的切割面(facet)上产生中部(median)裂纹。
仅通过下压裂片棒来操作传统裂片设备。因此,通过施加相同冲程(stroke),裂片棒猛烈地按压衬底的切边,却不考虑玻璃衬底是否已成功划片,因此,由于在划片失败位置处的横向裂纹的扩散,玻璃衬底可能完全破裂。
这样,如果玻璃衬底在切割过程中完全破裂,则需要花费大量时间来除去玻璃碎片,从而降低生产力。此外,由于细微玻璃碎片会在显示面板的玻璃衬底的表面上产生污染和划痕,而所述显示面板要求高度清洁,因此会降低合格率和生产力。
发明内容
本发明致力于解决如上文所述的相关领域的问题,且本发明的一个方面是提供用于玻璃衬底的裂片设备,所述裂片设备具有空气缓冲结构,从而能防止已遭受异常划片的玻璃衬底在从玻璃衬底除去切边的过程中发生裂片扩散以及完全破裂。
根据本发明的一个方面,用于玻璃衬底的裂片设备包含:裂片棒,其连接至线性驱动器,以便上升或下降,且在一个方向上延伸并具有预定宽度;多个直线形衬套,其沿纵向安装在裂片棒上且每个直线形衬套包含外部套管以及可在外部套管之内沿直线滑动的轴杆;多个缓冲气缸,其沿纵向安装在裂片棒上,且每个缓冲气缸包含内部产生压力的中空气缸主体、容纳在气缸主体中的活塞以及连接至活塞的活塞杆;以及裂片端部,其在一个方向上延伸且具有宽度预定的棒形状,裂片端部在裂片棒之下沿裂片棒的纵向方向安置,且连接至缓冲气缸的活塞杆和直线形衬套的轴杆,从而与玻璃衬底接触并在裂片棒下降时向玻璃衬底施加冲击载荷。
附图说明
从结合附图对一示例性实施例所做的详细描述中,将容易了解本发明的上述的以及其它的方面、特征和优势:
图1是根据本发明的一示例性实施例的玻璃衬底裂片设备的分解透视图。
图2是描绘根据本发明的示例性实施例的裂片设备的缓冲气缸以及直线形衬套(bushes)的所需布置的图。
图3是横截面示意图,其说明了根据本发明的示例性实施例的裂片设备的切割操作。
图4是根据本发明的示例性实施例的裂片设备的裂片端部(breaking tip)的横截面图,此时裂片端部已下降以切割玻璃衬底。
具体实施方式
现在,将参考附图详细描述本发明的示例性实施例。
根据一示例性实施例,裂片设备包含裂片端部,裂片端部安置在裂片棒之下以与缓冲气缸以及直线形衬套进行协同操作,且裂片设备经配置以在缓冲气缸中产生最佳压力,以便提供所需切割功能和高衬底质量,从而在对遭受划片失败的玻璃衬底(即,遭受异常划片的玻璃衬底)进行裂片的过程中防止裂纹扩散以及衬底完全破裂,同时实现针对受到正常划片的玻璃衬底(即,得到正常划片的玻璃衬底)的所需裂片过程。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星康宁精密素材株式会社,未经三星康宁精密素材株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210287597.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:夹具
- 下一篇:一种用于固定形状不规则工件的夹持装置