[发明专利]太阳能反射镜及其制备方法

权利要求书

1.一种太阳能反射镜，包括有在玻璃基板上设有金属反射层，其特征在于在玻璃基板与金属反射层之间设有光学过渡层，在金属反射层上设有反射补偿金属过渡层；在反射补偿金属过渡层上设有保护层。

2.如权利要求1所述的太阳能反射镜，其特征在于所述的光学过渡层的材料为Si₃N₄或Al₂O₃或Ti_xO_y。

3.如权利要求1所述的太阳能反射镜，其特征在于所述的金属反射层的材料为银或铝。

4.如权利要求1所述的太阳能反射镜，其特征在于所述的反射补偿金属过渡层的材料为铝或铜；其厚度为120-150nm。

5.如权利要求2所述的太阳能反射镜，其特征在于所述的光学过渡层是Si₃N₄或Al₂O₃或Ti_xO_y的厚度为5-30nm。

6.如权利要求3所述的太阳能反射镜，其特征在于所述的金属反射层的厚度为80-150nm。

7.一种太阳能反射镜的制备方法，其特征在于步骤为：

（1）在真空环境下对玻璃基板镀膜面进行等离子清洗：将待镀玻璃基板放入真空室体，预抽真空，当室体真空度为10^-4Pa后开始向真空室体通过质量流量计精确充如惰性气体，氮气或氩气且将室内压强维持在4~5Pa；开启轰击电源，在真空室体内的一对轰击极板间加500~2500V电压，电流为0.5~3.5A电流，产生稳定的辉光，产生辉光等离子流；在稳定的辉光放电的条件下清洗300~500s；

（2）在真空环境下Si₃N₄光学过渡层的制备；

将高纯硅作为靶材，当真空室体内真空度抽到2×10^-4Pa后，向真空室体充入氩气和氮气的混合气体为450-520sccm：340-380sccm，当真空度达到0.5~5Pa时，启动磁控溅射电源开始磁控溅射镀膜，电压：380V-420V，电流：45A-55A，镀膜2-10min，在玻璃基板表面形成5-30nm厚的Si₃N₄薄膜；

（3）在真空环境下金属银反射层制备：

将纯银作为靶材，当真空室体内真空度抽到2×10^-4Pa后，向真空室体充入氩气，当真空度达到0.1~1Pa时，启动磁控溅射电源开始磁控溅射镀膜，电压：460V-500V，电流：18A-22A，镀膜30~60s，在步骤（2）光学过渡层的表面形成80~150nm厚银反射层；

（4）铝反射补偿金属过渡层制备：

将纯铝作为靶材，当真空室体内真空度抽到2×10^-4Pa后，向真空室体充入氩气，当真空度达到0.1~1Pa时，启动磁控溅射电源开始磁控溅射镀膜，电压：460V-500V，电流：38A-42A，镀膜30-40s，在金属银反射层表面形成120-150nm厚金属铝层；

（5）喷淋50~60um厚保护油漆。

8.如权利要求7所述的太阳能反射镜的制备方法，其特征在于还包括有步骤（2）为Al₂O₃光学过渡层的制备：

将高纯铝作为靶材，当真空室体内真空度抽到2×10^-4Pa后，向真空室体充入氩气和氧气的混合气体450-550sccm：340-380sccm，当真空度达到0.5~5Pa时，启动磁控溅射电源开始磁控溅射镀膜，电压：460V-500V，电流：26A-34A，镀膜2-10min，在玻璃基板表面形成5-30nm厚的Al₂O₃薄膜。