[发明专利]一次真空将溅射钽环件凸台焊接在环体上的方法

权利要求书

1.一种一次真空将溅射钽环件凸台焊接在环体上的方法，其特征是：首先将凸台和环件分别酸洗，然后将所有凸台固定在环件上，最后将固定好凸台的环件装夹在三爪卡盘上，通过W轴的旋转依次完成多个凸台的焊接。

2.按照权利要求1所述的一次真空将溅射钽环件凸台焊接在环体上的方法，其特征在于上述酸洗是在体积比为5 ：3：1的HCl、HF和H₂SO₄的混合酸液中进行，酸洗时间控制在8—10分钟。

3.按照权利要求1所述的一次真空将溅射钽环件凸台焊接在环体上的方法，其特征在于上述凸台固定利用夹具（5）实现，夹具（5）将环件（4）夹紧，然后利用捆绑丝（1）将凸台（3）固定在夹具（5）上。

4.按照权利要求3所述的一次真空将溅射钽环件凸台焊接在环体上的方法，其特征是：所述凸台（3）中心的螺纹孔内配套连接有螺丝（2），螺丝（2）上开有孔，捆绑丝（1）穿过孔后捆绑在夹具（5）上。

5.按照权利要求3或4所述的一次真空将溅射钽环件凸台焊接在环体上的方法，其特征是：所述捆绑丝（1）为钽丝。

6.按照权利要求3或4所述的一次真空将溅射钽环件凸台焊接在环体上的方法，其特征是：所述夹具（5）采用铝材制备。

7.按照权利要求5所述的一次真空将溅射钽环件凸台焊接在环体上的方法，其特征在于凸台（3）焊接时的起弧点靠近钽丝一侧，且不能将钽丝熔断。