[发明专利]一种钼合金管靶的生产方法

权利要求书

1.一种钼合金管靶的生产方法，所述钼合金管靶具有衬管和靶管，其特征在于：所述生产方法通过将由钼和合金元素组成的预合金粉末置于专用包套中，在真空条件下进行热等静压形成管靶，所述专用包套包括同轴设置的不锈钢内管和低碳钢外管以及用于固定所述不锈钢内管和低碳钢外管的两端的固定座，其中：所述不锈钢内管为适合作为钼合金管靶的衬管的无磁性或弱磁性不锈钢管，所述低碳钢外管的壁厚小于所述不锈钢内管的壁厚，且低碳钢外管的内径与不锈钢内管的外径的差值为所述靶管的厚度的2.1~2.3倍，所述低碳钢外管上预焊有抽气管，所述热等静压的温度为1000℃~1200℃，压力大于等于100MPa，在热等静压结束后，除去专用包套的低碳钢外管和固定座，得到内为衬管外为靶管的坯材，该坯材经机加工即得所述钼合金管靶。

2.根据权利要求1所述的钼合金管靶的生产方法，其特征在于：所述的生产方法具体包括如下步骤；

（1）、制备预合金粉末；

（2）、装料和排气：将所述的不锈钢内管和低碳钢外管的一端焊接在一个所述固定座上，使两个管子的轴心重合，在两个管子之间形成厚度为靶管的厚度的1~1.1倍的腔体；然后将预合金粉末均匀地装入所述腔体内，装毕后，在两个管子的另外一端焊上另一固定座，两个固定座分别将腔体的两端封闭住，最后通过预焊在低碳钢外管上的抽气管抽真空，至腔体内真空度达到10 ^-1Pa或以下；

（3）、热等静压：将内装有预合金粉末的包套置于热等静压设备中，进行热等静压，热等静压温度为1000~1200?C, 压力为100MPa~200MPa，时间为1~3小时；

（4）、机加工：将专用包套的低碳钢外管和两个固定座除去，获得内为衬管外为靶管的坯材，将该坯材机加工成所述钼合金管靶。

3.根据权利要求2所述的钼合金管靶的生产方法，其特征在于：步骤（1）中，将钼粉和合金元素粉末进行混合、压制、烧结，制得初始坯料，再将初始坯料粉碎即得预合金粉末。

4.根据权利要求3所述的钼合金管靶的生产方法，其特征在于：在对初始坯料进行粉碎前，采用液氮对初始坯料进行冷冻处理。

5.根据权利要求1至4中任一项权利要求所述的钼合金管靶的生产方法，其特征在于：所述的合金元素为选自Cr、Hf、Nb、Ta、Ti、V、W中的任意一种元素，预合金粉末中合金元素含量为0.5wt%~50wt%。

6.根据权利要求5所述的钼合金管靶的生产方法，其特征在于：所述的合金元素为Nb，其含量为0.5 wt %~20wt%。

7.根据权利要求1或2所述的钼合金管靶的生产方法，其特征在于：所述的不锈钢内管的外表面形成有电镀铬层。

8.根据权利要求2所述的钼合金管靶的生产方法，其特征在于：步骤（2）中，在腔体内真空度达到10 ^-1Pa或以下后，充入氩气，再抽至10 ^-1Pa或以下，然后将整个包套放入加热炉中，以80~120℃/h的速率升温至600~900℃，在升温过程中，持续抽气，保持腔体内压力为10 ^-1Pa或以下，保温1~4h，保持腔体内压力为10 ^-1Pa或以下，最后将抽气口密封焊死。

9.根据权利要求1所述的钼合金管靶的生产方法，其特征在于：所述的低碳钢外管的壁厚为1~3mm。

10.根据权利要求1所述的钼合金管靶的生产方法，其特征在于：尺寸50~120微米的金属铌颗粒均匀分布在金属钼基体中构成所述靶管，金属钼基体中金属钼颗粒大小为10~50微米。