[发明专利]多环并联式电容位移传感器

权利要求书

1.一种多环并联式电容位移传感器，包括有相互配合的动极和定极，其特征在于：该定极包括有同轴且由内而外间距设置的单面定极轴、双面圆环定极板、单面圆环定极板；该动极包括有对应定极设置且同轴的第一双面圆环动极板和第二双面圆环动极板，该第一双面圆环动极板内形成有第一容置空腔，该第一双面圆环动极板与第二双面圆环动极板之间形成有第二容置空腔；该动极可轴向活动式嵌套于定极内，前述单面定极轴配合于第一容置空腔内并与第一双面圆环动极板内壁面构成第一电容；前述双面圆环定极板配合于第二容置空腔内并其内、外壁面分别与第一双面圆环动极板的外壁面、第二双面圆环动极板的内壁面构成第二、三电容；前述单面圆环定极板配合于第二双面圆环动极板外围，并单面圆环定极板与第二双面圆环动极板的外壁面构成第四电容。

2.根据权利要求1所述的多环并联式电容位移传感器，其特征在于：所述第一双面圆环动极板的内径大于单面定极轴的外径，该第一双面圆环动极板与第二双面圆环动极板的间距大于双面圆环定极板的厚度，该单面圆环定极板的内径大于第二双面圆环动极板的外径。

3.根据权利要求1所述的多环并联式电容位移传感器，其特征在于：所述单面定极轴、双面圆环定极板、单面圆环定极板、第一双面圆环动极板及第二双面圆环动极板的轴向长度相等且两端对应齐平。

4.根据权利要求1所述的多环并联式电容位移传感器，其特征在于：所述单面定极轴与双面圆环定极板的间距、双面圆环定极板与单面圆环定极板的间距、第一双面圆环动极板与第二双面圆环动极板的间距、第一双面圆环动极板内的圆柱形槽的直径均相等。

5.根据权利要求4所述的多环并联式电容位移传感器，其特征在于：所述单面定极轴的直径及双面圆环定极板、单面圆环定极板、第一双面圆环动极板、第二双面圆环动极板的厚度均相等。

6.根据权利要求1所述的多环并联式电容位移传感器，其特征在于：所述第二双面圆环动极板的外围设置屏蔽环，前述单面圆环定极板位于屏蔽环与第二双面圆环动极板之间，并屏蔽环与第二双面圆环动极板的间距大于单面圆环定极板的厚度。

7.根据权利要求1所述的多环并联式电容位移传感器，其特征在于：所述单面圆环定极板的外壁面为屏蔽层。

8.根据权利要求6所述的多环并联式电容位移传感器，其特征在于：所述动极包括有圆形基板，前述第一双面圆环动极板、第二双面圆环动极板及屏蔽环均自圆形基板前侧一体延伸而成。

9.根据权利要求1所述的多环并联式电容位移传感器，其特征在于：所述定极包括有圆形基板，前述单面定极轴、双面圆环定极板、单面圆环定极板均自圆形基板后侧一体延伸而成。

10.根据权利要求1所述的多环并联式电容位移传感器，其特征在于：所述动极和定极通过外围细螺杆定位，各细螺杆各自套有压簧来控制动极复位。