[发明专利]一种氧化镁蒸镀装置支撑载具无效
申请号: | 201210296624.3 | 申请日: | 2012-08-20 |
公开(公告)号: | CN102789934A | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 张超;周志峰;周兴磊;尹海斌 | 申请(专利权)人: | 安徽鑫昊等离子显示器件有限公司 |
主分类号: | H01J9/20 | 分类号: | H01J9/20;C23C16/46 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 230012*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氧化镁 装置 支撑 | ||
1.一种氧化镁蒸镀装置支撑载具,其特征在于,包括:
矩形主边框,所述矩形主边框上连接有多个主支撑块;
多个与所述主边框的横向子边框平行的第一导轨,所述第一导轨的两端分别与所述主边框的两个纵向子边框连接;
多个与所述主边框的纵向子边框平行的第二导轨,所述第二导轨的两端分别与所述主边框的两个横向子边框连接;
其中,所述第一导轨与第二导轨上均连接有多个可滑动的辅助支撑块,所述辅助支撑块的上表面与所述主支撑块的上表面位于同一平面。
2.根据权利要求1所述的支撑载具,其特征在于,所述第一导轨与第二导轨的个数均为2。
3.根据权利要求1所述的支撑载具,其特征在于,每个第一导轨与第二导轨上均设置有4个辅助支撑块。
4.根据权利要求1所述的支撑载具,其特征在于,所述辅助支撑块通过设置在对应导轨侧面的滑动凹槽与对应导轨连接。
5.根据权利要求1所述的支撑载具,其特征在于,所述第一导轨通过设置在所述纵向子边框内侧的上层凹槽与所述纵向子边框连接。
6.根据权利要求1所述的支撑载具,其特征在于,所述第二导轨通过设置在所述横向子边框内侧的下层凹槽与所述横向子边框连接。
7.根据权利要求1所述的支撑载具,其特征在于,所述主支撑块的个数为16,且平均设置在所述主边框的四个子边框上。
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