[发明专利]糊剂涂敷方法及糊剂涂敷装置

说明书

技术领域

本发明涉及在基片上涂敷糊剂的糊剂涂敷方法及糊剂涂敷装置。

背景技术

在有机EL（Electro Luminescence,电致发光）片的制造工序中，由在蒸镀了有机EL元件的基片上粘合密封用的玻璃（密封玻璃）的工序，在基片上涂敷糊剂（玻璃糊剂），粘合密封玻璃，将激光束照射在玻璃糊剂上而进行接合。

在此工序中，被涂敷在基片上的玻璃糊剂的高度（涂敷高度）要求高精度的均匀性，因此，多由印刷法在基片上涂敷玻璃糊剂。

印刷法为，通过形成了涂敷玻璃糊剂的图案（涂敷图案）的丝网将玻璃糊剂涂敷在基片上，存在对于涂敷图案的各形状需要分别准备丝网的问题。

另外，丝网为极薄的构件，所以，可制造的大小存在限度。因此，存在由使用了丝网的印刷法制造的有机EL片的大小被限制的问题。

并且，丝网由于为将涂敷图案的部分的玻璃糊剂涂敷在基片上的结构，形成涂敷图案的部分以外成为被掩蔽的部分。由于掩蔽部分的玻璃糊剂残留，所以，此残留的玻璃糊剂成为剩余部分（浪费），存在玻璃糊剂的使用效率下降的问题。

作为消除这样的印刷法的问题点涂敷玻璃糊剂的方法，已知从沿涂敷图案移动的管嘴将玻璃糊剂涂敷在基片上的方法。

例如在专利文献1中，记载了一种糊剂涂敷装置，该糊剂涂敷装置根据前次涂敷糊剂时的管嘴高度一边调节第二次以后涂敷糊剂时的管嘴高度，一边移动管嘴，涂敷糊剂。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-316082号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在移动管嘴涂敷糊剂的场合，即使是管嘴从基片离开的高度（管嘴高度）、管嘴的移动速度相等的情况下，有时管嘴的移动方向的不同也使涂敷高度产生微小的不同。这是因为，管嘴的前端部的形状误差、安装误差（倾斜等），使得排出糊剂的排出口与基片的高度因为管嘴的移动方向的不同而产生微小变化，该排出口与基片的高度的微小变化等使得涂敷高度产生微小的不同。记载于专利文献1中的糊剂涂敷装置，虽然能够吸收由基片的起伏导致的涂敷高度的变化，以良好精度维持涂敷高度，但不能吸收由管嘴的移动方向的不同产生的涂敷高度的微小的不同，这一点使涂敷高度的精度下降。

因此，本发明的目的在于提供一种能够吸收由管嘴的移动方向的不同所产生的涂敷高度的不同，确保玻璃糊剂的涂敷高度的精度的糊剂涂敷方法及糊剂涂敷装置。

为了解决课题的手段

为了达到上述目的，本发明提供一种使连续地涂敷糊剂的管嘴沿基片的平面上的规定区域的周围移动，在该区域的周围连续地涂敷上述糊剂的糊剂涂敷方法。并且，特征在于：具有准备工序和涂敷工序；在该准备工序中，对上述管嘴沿上述区域的周围移动时的各移动方向，设定上述管嘴移动时的从上述基片到上述管嘴的管嘴高度的修正量；在该涂敷工序中，对上述管嘴的各上述移动方向，以与上述管嘴的上述移动方向对应的上述修正量修正上述管嘴高度，沿上述区域的周围移动上述管嘴。

另外，提供一种由此涂敷方法将上述糊剂涂敷在基片上的糊剂涂敷装置。

发明的效果

按照本发明，能够提供一种能够吸收由管嘴的移动方向的不同所产生的涂敷高度的不同，确保玻璃糊剂的涂敷高度的精度的糊剂涂敷方法及糊剂涂敷装置。

附图说明

图1为糊剂涂敷装置的立体图。

图2（a）为涂敷头的侧视图，（b）为涂敷头的立体图。

图3为表示在蒸镀部的周围涂敷玻璃糊剂的涂敷图案的一例的图。

图4（a）、（b）为表示管嘴的前端部的形状和涂敷高度的图。

图5（a）为表示涂敷图案的分割的一例的图，（b）为说明管嘴修正量的图，（c）为说明测量点的图。

图6为表示当涂敷玻璃糊剂时改变管嘴高度Nh的连接点的图。

具体实施方式

下面，适当地参照附图详细说明本发明的实施方式。

本实施方式的糊剂涂敷装置100，如图1所示，由基座1、支架2、固定部3A、3B、可动部4A、4B、涂敷头5、载置基片8的基片保持盘6、控制部9、监视器11、键盘12构成。

另外，设定基座1的长度方向为X轴，宽度方向为Y轴，高度方向（上下方向）为Z轴的坐标轴。

另外，在图1中图示了1个涂敷头5，但也可为具备多个涂敷头5的糊剂涂敷装置100。