[发明专利]用于供应干气体的方法和设备

权利要求书

1. 一种用于从氮气含量小于1ppm_v且水含量小于100ppm_v的无机气体的供应中移除微量水的方法，包括：使所述气体与吸附剂接触，所述吸附剂具有从所述气体中吸附水的能力，所述吸附剂在23℃和101千帕具有在0.01 mgmole/g以下的纯氮气吸附能力。

2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述吸附剂为3A沸石，所述3A沸石具有不小于15%的钾钠交换且无氮气吸附组分。

3. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述无机气体的供应在加压容器中且所述吸附剂存在于所述容器中。

4. 根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述吸附剂存在于连接到所述容器的气体出口的管道中。

5. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述气体为氢气、氦气、氧气、氩气或其它稀有气体或这些气体中任何气体的掺混物。

6. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在与所述吸附剂接触之前所述无机气体的氮气含量不超过500ppb_v。

7. 根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述氮气含量不超过250ppb_v。

8. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在与所述吸附剂接触之前所述气体的水含量不超过10ppm_v。

9. 根据权利要求8所述的方法，其特征在于，在与所述吸附剂接触之前所述气体的水含量不超过5ppm_v。

10. 气体供应设备，包括：待供应的无机气体源，所述气体具有小于1ppm_v的氮气含量和小于100ppm_v的水含量；气体供应管道，其与所述源连通；以及吸附剂，其与所述气体接触用于从所述气体中吸附水，所述吸附剂为3A沸石，所述3A沸石具有不小于15%的钾钠交换且无氮气吸附组分。

11. 根据权利要求10所述的气体供应设备，其特征在于，所述3A沸石包含于成形的吸附剂粒子内，所述成形的吸附剂粒子原本无氮气吸附组分。

12. 根据权利要求10所述的气体供应设备，其特征在于，所述吸附剂具有从所述气体中吸附水的能力和在23℃和101千帕具有在0.01 mgmole/g以下的纯氮气吸附能力。

13. 根据权利要求10所述的气体供应设备，其特征在于，所述无机气体源为加压容器且所述吸附剂存在于所述容器中。

14. 根据权利要求13所述的气体供应设备，其特征在于，所述吸附剂存在于所述气体供应管道中，且所述气体供应管道连接到所述容器的气体出口。

15. 根据权利要求10所述的气体供应设备，其特征在于，所述气体为氢气、氦气、氧气、氩气或其它稀有气体或这些气体中任何气体的掺混物。

16. 根据权利要求10所述的气体供应设备，其特征在于，在与所述吸附剂接触之前所述无机气体的氮气含量不超过500ppb_v。

17. 根据权利要求16所述的气体供应设备，其特征在于，所述氮气含量不超过250ppb_v。

18. 根据权利要求10所述的气体供应设备，其特征在于，在与所述吸附剂接触之前所述气体的水含量不超过10ppm_v。

19. 根据权利要求18所述的气体供应设备，其特征在于，在与所述吸附剂接触之前所述气体的水含量不超过5ppm_v。

20. 一种瓶，其包含将从所述瓶供应的加压无机气体，所述气体已从具有小于1ppm_v的氮气含量和小于100ppm_v的水含量的所述气体的总体供应引入到所述瓶内，所述瓶包含吸附剂，所述吸附剂与所述气体接触用于从所述气体中吸附水，其中，所述吸附剂具有从所述气体中吸附水的能力且在23℃和101千帕具有在0.01 mgmole/g以下的纯氮气吸附能力。