[发明专利]一种硼（B）扩散掺杂的方法有效
| 申请号： | 201210301219.6 | 申请日： | 2012-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN102797040A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 汤叶华;周春兰;王文静;费建明;曹红彬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 掺杂 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种硼（B）扩散掺杂的方法，其特征在于所述的方法步骤如下：
（1）腐蚀清洗待掺杂的衬底表面，清洗完成后将衬底干燥；
（2）扩散炉升温，同时向扩散石英管内导入大氮；当温度达到850-1050°C后，将步骤（1）制备好的清洁衬底放入扩散石英管恒温区，密封扩散炉炉口；
待扩散炉温度稳定后，继续导入大氮，并向扩散石英管内通入氧气、携带硼源的小氮和气态水；所述的大氮的流量为12-20slm/min；所述的氧气的流量为2000-5000sccm/min；所述的携源小氮的流量800-3000sccm/min；所述的气态水的流量范围为100-900sccm/min；
（3）待扩散过程结束后将衬底取出冷却。
2.按照权利要求1所述的实现硼（B）均匀扩散掺杂的方法，其特征在于所述的衬底为硅片。
3.按照权利要求1所述的实现硼（B）均匀扩散掺杂的方法，其特征在于所述的气态水是加热的水蒸气或氢氧发生器产生的气态水或气态物质中所包含的水。
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