[发明专利]太阳能电池电极的电化学制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池电极的电化学制备方法，其特征在于，包括：具有可用于光诱导电镀的太阳能电池衬底，该太阳能电池衬底具备p 型层和n 型层、背表面电极接触p 型层、正表面减反射膜接触n型层，其正面减反射膜表面有沟槽图案并在沟槽图案底部暴露n 型层、并且p 型层和n 型层与沟槽图案底部在接受光照时电导通；

将所述太阳能电池衬底正表面和至少一个辅助电极与电镀液接触;并在所述背电极和辅助电极之间施加一电压v1，使背电极电势低于辅助电极电势，同时用一光源照射太阳能电池衬底正表面；

利用光诱导电镀在所述太阳能电池衬底表面沟槽内形成至少一层金属电极；

在所述光诱导电镀过程中监测电镀液中的离子浓度，当电镀液中的离子浓度达到一阀值时对电镀液中的离子进行补充，保持电镀液有效进行电镀；

停止所述光照射太阳能电池衬底；

在所述太阳能电池衬底背电极和光诱导电镀形成的金属电极之间施加电压v2，使背电极电势高于光诱导电镀的金属电极电势，并同时在所述太阳能电池衬底背电极和辅助电极之间施加电压v3，使背电极电势高于辅助电极电势；

退镀去除在所述减反射膜孔洞中和表面上多余电镀形成的金属沉积物。

2.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，该方法可应用于在所述太阳能电池衬底表面沟槽内与n 型层接触的第一层金属电极制备。

3.根据权利要求 2 所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，在所2述太阳能电池衬底表面沟槽内与 n 型层接触的第一层金属电极通过热处理与n 型层形成金属硅化物。

4.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，该方法可应用于在所述太阳能电池衬底表面沟槽内的第二层金属电极制备。

5.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，该方法可应用于在所述太阳能电池衬底表面沟槽内的第三层金属电极制备。

6.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，在所述光诱导电镀过程中，在太阳能电池衬底的正表面施加超声波能量。

7.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，在所述退镀去除在减反射膜孔洞中和表面上多余电镀形成的金属沉积物时，保持v2 不小于v3，保护光诱导电镀形成的金属电极不被退镀。

8.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，用所述退镀去除多余电镀形成的金属沉积物时，通过设置包括电流、电压、电通量的阀值停止退镀。

9.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，所述光诱导电镀形成的金属电极材料为铜、镍、钴、银、锡、金，铅，锌中的一种及一种以上金属的合金。

10.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，在所述光诱导电镀与退镀过程中，在背电极和辅助电极之间施加电压为周期性脉冲逆向波形。