[发明专利]微蚀废液再生回收系统

权利要求书

1.微蚀废液再生回收系统，其特征在于：包括蚀刻槽（1）以及与蚀刻槽（1）连通的废液储存罐（3），所述废液储存罐（3）连接有中心两级系统（5），中心两级系统（5）连接有再生液调节罐（7），所述再生液调节罐（7）连接有再生液储存罐（10），再生液储存罐（10）和蚀刻槽（1）连通，所述蚀刻槽（1）和废液储存罐（3）之间、废液储存罐（3）和中心两级系统（5）之间、中心两级系统（5）和再生液调节罐（7）之间、再生液调节罐（7）和再生液储存罐（10）之间、再生液储存罐（10）和蚀刻槽（1）之间均设置有水泵，所述水泵同时连接有PLC控制系统（8），且蚀刻槽（1）、中心两级系统（5）以及再生液调节罐（7）同时与PLC控制系统（8）连接。

2.根据权利要求1所述的微蚀废液再生回收系统，其特征在于：所述水泵包括水泵一（2）、水泵二（4）、水泵三（6）、水泵四（9）以及水泵五（11），且水泵一（2）、水泵二（4）、水泵三（6）、水泵四（9）以及水泵五（11）同时与PLC控制系统（8）连接，水泵一（2）设置在蚀刻槽（1）和废液储存罐（3）之间，且分别与蚀刻槽（1）和废液储存罐（3）连通；水泵二（4）设置在废液储存罐（3）和中心两级系统（5）之间，且分别与废液储存罐（3）和中心两级系统（5）连通；水泵三（6）设置在中心两级系统（5）和再生液调节罐（7）之间，且分别与中心两级系统（5）和再生液调节罐（7）连通；水泵四（9）设置在再生液调节罐（7）和再生液储存罐（10）之间，且分别与再生液调节罐（7）和再生液储存罐（10）连通；水泵五（11）设置在再生液储存罐（10）和蚀刻槽（1）之间，且分别与再生液储存罐（10）和蚀刻槽（1）连通。

3.根据权利要求2所述的微蚀废液再生回收系统，其特征在于：所述水泵一（2）分别与蚀刻槽（1）的底端和废液储存罐（3）的顶端连接。

4.根据权利要求2所述的微蚀废液再生回收系统，其特征在于：所述水泵二（4）分别与废液储存罐（3）的底端和中心两级系统（5）的顶端连接。

5.根据权利要求2所述的微蚀废液再生回收系统，其特征在于：所述水泵三（6）分别与中心两级系统（5）的底端和再生液调节罐（7）的顶端连接。

6.根据权利要求2所述的微蚀废液再生回收系统，其特征在于：所述水泵四（9）分别与再生液调节罐（7）的底端和再生液储存罐（10）的顶端连接。

7.根据权利要求2所述的微蚀废液再生回收系统，其特征在于：所述水泵五（11）分别与再生液储存罐（10）的底端和蚀刻槽（1）的底端连接。