[发明专利]半导体封装件及其制法有效
申请号: | 201210308022.5 | 申请日: | 2012-08-27 |
公开(公告)号: | CN103579173A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 王维宾;林邦群;陈泳良;郑坤一;邱正文 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522;H01L21/768 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 及其 制法 | ||
1.一种半导体封装件,其包括:
线路增层结构,其具有相对的第一表面与第二表面,且该线路增层结构包含表面作为该第一与第二表面的至少一介电层、形成于该介电层上的线路层、及形成于该介电层中并电性连接该线路层的多个导电盲孔,且该第一表面上具有电性连接该导电盲孔的多个电性接触垫;
多个电性连接垫,其嵌设于该线路增层结构的第二表面上并电性连接该导电盲孔,且该些电性连接垫与该第二表面形成有段差;以及
至少一半导体组件,其设于该线路增层结构的第一表面上,且该半导体组件电性连接该些电性接触垫。
2.根据权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该半导体封装件还包括绝缘保护层,其形成于该线路增层结构的第一表面上,且令该些电性接触垫外露于该绝缘保护层。
3.根据权利要求2所述的半导体封装件,其特征在于,该半导体封装件还包括封装胶体,其形成于该绝缘保护层上,以包覆该半导体组件。
4.根据权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该半导体封装件还包括封装胶体,其形成于该线路增层结构的第一表面上,以包覆该半导体组件。
5.一种半导体封装件的制法,其包括:
提供一承载结构,其表面依序具有第一金属层与第二金属层;
形成多个电性连接垫于该第二金属层上;
移除该第二金属层未被该电性连接垫覆盖的部分,以保留该些电性连接垫下的第二金属层,且外露该第一金属层;
形成一线路增层结构于该第一金属层与该些电性连接垫上,且该线路增层结构上具有多个电性接触垫;
设置至少一半导体组件于该线路增层结构上,且该半导体组件电性连接该些电性接触垫;以及
借由剥离方式,同时移除该承载结构、第一金属层与该电性连接垫下的第二金属层。
6.根据权利要求5所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该承载结构具有相对的第一侧与第二侧,且该第一侧上具有该第一与第二金属层,而该第二侧上具有第三金属层。
7.根据权利要求6所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该第一与第三金属层为铜箔。
8.根据权利要求5所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该第二金属层以电镀方式形成于该第一金属层上。
9.根据权利要求5所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该线路增层结构具有至少一介电层、形成于该介电层上的线路层、及形成于该介电层中的多个导电盲孔,且该导电盲孔电性连接该线路层与电性连接垫,又该些电性接触垫为该最外层的线路层的一部分。
10.根据权利要求5所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该制法还包括形成绝缘保护层于该线路增层结构,且令该些电性接触垫外露于该绝缘保护层。
11.根据权利要求10所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该制法还包括形成封装胶体于该绝缘保护层上,以包覆该半导体组件。
12.根据权利要求5所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该制法还包括形成封装胶体于该线路增层结构上,以包覆该半导体组件。
13.一种半导体封装件的制法,其包括:
提供一承载结构,其表面依序具有第一金属层与第二金属层;
图案化该第二金属层,以形成多个电性连接垫,且外露该第一金属层;
形成一线路增层结构于该第一金属层与该些电性连接垫上,且该线路增层结构上具有多个电性接触垫;
设置至少一半导体组件于该线路增层结构上,且该半导体组件电性连接该些电性接触垫;以及
借由剥离方式,移除该承载结构与第一金属层。
14.根据权利要求13所述的封装基板的制法,其特征在于,该承载结构具有相对的第一侧与第二侧,且该第一侧上具有该第一与第二金属层,而该第二侧上具有第三金属层。
15.根据权利要求14所述的封装基板的制法,其特征在于,该第一与第三金属层为铜箔。
16.根据权利要求13所述的封装基板的制法,其特征在于,该第二金属层以电镀方式形成于该第一金属层上。
17.根据权利要求13所述的封装基板的制法,其特征在于,以蚀刻方式形成该些电性连接垫。
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