[发明专利]一种用于激光诱导检测的光学系统有效
申请号: | 201210308764.8 | 申请日: | 2012-08-28 |
公开(公告)号: | CN102866134A | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 赵天卓;余锦;樊仲维;刘洋;张雪;黄科;麻云凤 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电研究院;北京国科世纪激光技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/63 | 分类号: | G01N21/63;G02B7/04 |
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地址: | 100094 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 激光 诱导 检测 光学系统 | ||
1.一种用于激光诱导检测的光学系统,包括:外套筒1、分光棱镜2、分光遮挡板3、光束选择挡板4、聚光套筒5,还可以将聚光套筒5替换成反射镜组6,或者增加电动控制器7,或者增加聚焦透镜组8。
2.按权利要求1所述的用于激光诱导检测的光学系统,其特征在于,所述的外套筒1用来将诱导激励的激光束汇聚到被检测的材料表面上;所述的分光棱镜2用来将诱导用的入射激光分散成多束;所述的分光遮挡板3用来透过分束后的激光,并遮挡被光束选择挡板4反射的激光,避免散射干扰;所述的光束选择挡板4用来对入射的多束激光进行选择,控制其中的部分或全部透过;所述的聚光套筒5用来反射并改变多束诱导激光的方向,使多束诱导激光共同汇聚在一个面上;所述的反射镜组6可以由金属抛光或者玻璃等材料镀膜构成,可以是平面也可以是凹面或者凸面,功能与聚光套筒5相同;所述的电动控制器7内部包括驱动电机和传动机构,用来实现分光遮挡板3、光束选择挡板4、聚光套筒5的电动控制;所述的聚焦透镜8可以被添加在分光棱镜2前、分光棱镜2与分光遮挡板3之间、分光遮挡板3与光束选择挡板4之间、光束选择挡板4与聚光套筒5之间,用来实现单束光的汇聚。
3.按权利要求1所述的用于激光诱导检测的光学系统,其特征在于,分光棱镜2用来实现激光的分光,上面按照需求进行分割,可以是仅沿着轴向的1至50等分,每份呈扇形;也可以是沿着径向的1至50等分与沿着轴向的1至50等分相结合,将光束分成沿同一圆心的1至50个环带,每个环带上进行1至50等分。
4.按权利要求1所述的用于激光诱导检测的光学系统,其特征在于,包含的分光遮挡板3和光束选择挡板4用来实现光束透过的选择,在分光遮挡板3和光束选择挡板4上面可以沿一个或多至10个的圆周设置分光通光孔,在每个圆周上可以包含1至100个孔,这些孔的间距不等,主要目的是分光遮挡板3和光束选择挡板4上的孔配合,实现不同组数的激光透过;并且每个孔的形状可以为圆形、矩形、梯形或者扇形,孔的尺寸可以任意设定,通常为直径在1至20mm的圆孔或者单边长1至20mm的矩形。
5.按权利要求1所述的用于激光诱导检测的光学系统,其特征在于,包含的聚光套筒5用来实现对分出光束的汇聚,内壁可以是棱台面、圆台面或者组合曲面,由金属抛光或者塑料、玻璃、陶瓷等材料镀高反射膜构成;聚光套筒5可以由3至30片的梯形镜片围拢粘贴构成,可以由铝、铁、铜等金属通过机械加工的方式构成内空的孔,形状可以是圆柱孔、棱台孔或者球面与圆柱和棱台组合的孔的形状。
6.按权利要求1所述的用于激光诱导检测的光学系统,其特征在于,聚光套筒5还可以替换成反射镜组6,由1至50片的反射镜按照适当的角度排布构成,这些反射镜可以是金属反射镜,也可以是陶瓷、玻璃反射镜,反射镜可以是圆形、矩形或者梯形;反射镜反射面可以是平面、凹面或者凸面,可以是球面也可以是非球面。
7.按权利要求1所述的用于激光诱导检测的光学系统,其特征在于,在聚光套筒5的前面或者后面可以添加聚焦透镜组8,来实现多束光的进一步汇聚,以及通过对聚焦透镜组8的调节实现光束汇聚位置的精确定位;聚焦透镜组8可以增加电动控制系统,实现自动调节,或者通过手动调节来实现。
8.按权利要求1所述的用于激光诱导检测的光学系统,其特征在于,在分光棱镜2后,分光遮挡板3前,可以添加聚焦透镜组,来实现多束光的进一步汇聚,以及通过对聚焦透镜组8的调节实现光束汇聚位置的精确定位;聚焦透镜组8可以增加电动控制系统,实现自动调节,或者通过手动调节来实现。
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