[发明专利]物理量检测器及电子设备无效
申请号: | 201210308798.7 | 申请日: | 2012-08-27 |
公开(公告)号: | CN102967730A | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 渡边潤;中仙道和之;亀田高弘 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01P15/14 | 分类号: | G01P15/14 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;苏萌萌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 物理量 检测器 电子设备 | ||
1.一种物理量检测器,其特征在于,具备:
挠性部,其具有压电性,且为板状;
物理量检测元件,其被搭载于所述挠性部的两个主面中的至少一个所述主面上;
质量部,其被搭载于所述挠性部上,并具有导电性;
封装件,其用于收纳所述挠性部、所述物理量检测元件和所述质量部,
在所述物理量检测元件上,设置有将检测到的物理量作为电信号来获取的配线,并且所述质量部能够保持为所需的电位。
2.如权利要求1所述的物理量检测器,其特征在于,
所述封装件具备:
封装件基座,其搭载了所述挠性部、所述物理量检测元件和所述质量部;
盖体,其被搭载于所述封装件基座上,并覆盖所述物理量检测元件,且具有导电性,
所述质量部能够保持为与所述盖体相同的电位。
3.如权利要求2所述的物理量检测器,其特征在于,
所述封装件基座在与所述盖体对置的内底面上设置有导电部,
所述挠性部具有以跨及两个所述主面的方式而设置的电极,
所述质量部与所述电极电连接,且能够保持为与所述导电部相同的电位。
4.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的物理量检测器,其特征在于,
所述质量部具有切口部,并且所述质量部被搭载于,搭载有所述物理量检测元件的所述挠性部的所述主面上,
当俯视观察时,在所述质量部的所述切口部内,配置有所述物理量检测元件的一部分。
5.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的物理量检测器,其特征在于,
所述挠性部具有基座部、和通过接合部而与该基座部相连接的可动部,
所述可动部能够以所述接合部为支点而在与所述可动部的主面交叉的方向上位移,
所述物理量检测元件以跨越所述接合部的方式而被架设于所述基座部和所述可动部上,
所述质量部被搭载于所述可动部的所述主面上。
6.一种电子设备,其特征在于,
具备权利要求1至权利要求3中任一项所述的物理量检测器。
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