[发明专利]可调式测温装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种测温装置，特别是涉及一种可调式测温装置。

背景技术

利用热电偶测温的技术已被普遍应用，且热电偶通常不可直接置入高温环境中。

如中国台湾公告编号171787号专利案，一种热电偶的结构，是将一个配线盘锁固在一个接线盒上，且一个保护套管固设在该接线盒，再将一个温度感测棒利用一个弹簧连结于该配线盘，利用该弹簧的弹性，能使该温度感测棒前端的温接点得以接触该保护套管末端。

再如中国台湾公告编号472138号专利案，另一种热电偶的结构，是在一个凸缘节流器上利用螺丝锁固有一个可拆除凸缘，且一个保护套管利用球状枢轴安装在该凸缘节流器内部，一个热电偶安装在该可拆除凸缘上，且前端能伸入该保护套管中。

以上两个前案技术中，所述热电偶的测温位置相对所述保护套管皆呈固定，无法进行调整。

又如中国台湾M292692号专利案，一个热电偶能伸入一个炉管内部量测温度，且该热电偶是在一个保护套管内部穿设有五条导线。虽然其说明书中揭露可以藉由所述导线在该保护套管内的移动，可以量测炉管内五个不同位置的温度，但是并未揭示所述导线如何调整，以及调整后如何定位。

又再如中国台湾M409425号专利案，一种测温装置，包括一个支架、一个连接于该支架且插置于熔融液体中的保护套管及一个设置在该保护套管内的感温单元，虽然其说明书揭露该感温单元的一个热电偶直向插入该保护套管内部后，能调整其位置，并使其测温点距离保护套管底部有一个预定的高度，但是也未揭示该热电偶如何调整位置，以及调整位置后如何定位。

再者，长晶炉在制作硅晶锭制程时，其制程主要可区分为加热、熔化、长晶、退火、冷却等五段主要步骤，在各段制程步骤中，其制程参数皆会影响各段别的长晶条件，进而影响其长晶品质。其中，各段制程参数中又以温度为其长晶条件的重要依据之一。且在硅晶锭的成长过程中，都会于长晶炉内使用一个热电偶，用以当作量测长晶炉内温度的重要量测工具，且热电偶的一个感测端部相对于长晶炉内热源的距离不同时，所量测得到的温度结果也会有所不同。在同一个厂内的不同长晶炉，即使使用相同的参数条件作温度控制，但是当热电偶的感测端部相对于长晶炉内热源的距离彼此不同时，其所回馈温度的结果也有所不同，不但无法稳定控制长晶参数，也会导致后续硅芯片的品质不一，因此，热电偶的感测端部能相对于长晶炉内热源精确调整，以及调整后能达到定位，为相当重要并亟待解决的课题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种结构简单、调整容易且精确，并能提升产品制程品质的可调式测温装置。

本发明的可调式测温装置，包含一个内安装座、一个外安装座、一个连结在该内安装座与该外安装座之间的伸缩座、一个调整单元、一个保护套管及一个热电偶，该内安装座呈中空状，沿一条轴线设置，该外安装座呈中空状，沿该轴线与该内安装座间隔设置，该伸缩座呈中空状，沿该轴线连结在该内安装座与该外安装座之间，且具有可挠伸缩性，该调整单元具有一个连结于该内安装座与该外安装座之间的调整组，该调整组能驱动该外安装座相对于该内安装座调整位移，该保护套管固设在该内安装座，且呈单向开放的中空管状，并具有一个朝与该外安装座反向延伸的末端部，该热电偶具有一个相对于该外安装座产生定位的定位端部、一个对应该末端部的感测端部及一个介于该定位端部与该感测端部之间且穿设在该外安装座、该伸缩座与该内安装座内部的中段。

本发明的可调式测温装置，该调整单元还具有一个连结于该内安装座的内支架及一个连结于该外安装座的外支架，该调整组连结在该内支架与该外支架之间。

本发明的可调式测温装置，该调整单元的调整组还具有一个固设在该内支架的固定件、一个套设在该固定件的移动件及一个设置在该固定件与该移动件之间的驱动件，该驱动件具有一个轴设在该固定件的齿轮及一个设置在该移动件且与该齿轮啮合的齿条。

本发明的可调式测温装置，该调整单元的调整组的固定件具有一对间隔设置的侧板及一个设置在所述侧板之间的空间，该齿轮设置在该空间中，该移动件具有一个相邻于所述侧板的端壁、一个自该端壁凸设且伸设在该空间中的凸肋及一个与该端壁连结且固设在该外支架的顶壁，该齿条设置在该凸肋。

本发明的可调式测温装置，该调整单元的调整组还具有一个沿该调整方向延伸且固设在该固定件的导引件，该移动件具有一个设置在该顶壁且供该导引件穿设的导孔。

本发明的可调式测温装置，该调整单元的调整组还具有一个与该齿轮同轴固设且设置在该固定件外侧的旋钮。