[发明专利]芯片同测系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路的晶圆测试，特别是涉及一种芯片同测系统。

背景技术

现有技术中晶圆的芯片同测系统都要使用到同测探针卡，在对晶圆进行测试系统特别是大规模同测系统的开发及运行时，需要制作专用的同测探针卡，在同测探针卡确认无误之后方能对晶圆进行测试。

同样，为了对新产品进行大规模的晶圆级别的可靠性测试和评价，同样需要使用高同测数目的探针卡来进行，但是新产品和已有的量产产品具有不同的工艺条件，故新产品的探针卡跟量产使用的探针卡是不同的，所以现有技术中需要针对新产品追加制作一套全新的同测探针卡，而这种探针卡的费用一般是较为昂贵的，故会增加测试成本。而且新产品的工艺不同时，探针卡也需要不同，这就更加增加了测试成本。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种芯片同测系统，不需要使用探针卡和探针台，应用范围较广，结构简单，能提高测试评价效率。

为解决上述技术问题，本发明提供的芯片同测系统包括：

模块板，该模块板为模块级别的印刷电路板；在所述模块板的一个区域上设置有芯片放置位置，所述芯片放置位置用于放置多个芯片阵列。

在所述芯片放置位置的周边形成有焊垫一，所述焊垫一的位置和数量根据待测试芯片的焊垫二的位置和数量进行设置，所述焊垫一用于和所述焊垫二进行连接。

所述待测试芯片通过粘结方式放置在所述芯片位置上，所述待测试芯片为由晶圆切割形成的裸片，所述焊垫一和所述焊垫二之间直接用金线进行键合连接。

所述待测试芯片为多个，放置在所述芯片位置上并组成芯片阵列结构；在所述模块板上设置有一选择器；该选择器的一侧和所述焊垫一相连，用于对所述待测试芯片进行选择；所述选择器的另一侧和所述模块板上的金手指相连，用于加入测试信号。

进一步的改进是，所述选择器为8选1的选择器，所述芯片放置位置最多能够放置8个所述待测试芯片；或者，所述选择器为16选1的选择器，所述芯片放置位置最多能够放置16个所述待测试芯片。

进一步的改进是，所述芯片同测系统由多个所述模块板组成，由多个所述模块板一起实现对所述晶圆上更多的所述待测试芯片的同测。

进一步的改进是，所述芯片同测系统由多个所述模块板组成，该多个所述模块板一起制作在一个第二印刷电路板，各所述模块板所对应的所述印刷电路板为所述第二印刷电路板的一部分，由多个所述模块板一起实现对所述晶圆上更多的所述待测试芯片的同测。

本发明通过金线键合连接方式将待测试芯片的焊垫和制作于模块板上的焊垫相连，并不需要使用探针卡和探针台来实现对晶圆的待测试芯片的焊垫的连接，本发明仅仅在具备测试仪的情况下就能实现测试，所以本发明的应用范围更广。本发明应用于对新产品进行大规模的晶圆级别的可靠性测试和评价时，并不需要制作同测探针卡，故能减少制作同测探针卡的昂贵费用，降低新产品的芯片同测的测试成本。本发明芯片同测系统结构简单，容易实现，能提高测试评价效率。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明:

图1是本发明实施例芯片同测系统的示意图。

具体实施方式

如图1所示，是本发明实施例芯片同测系统的示意图；本发明实施例芯片同测系统包括：

模块板1，该模块板1为模块级别的印刷电路板；在所述模块板1的一个区域上设置有芯片放置位置，所述芯片放置位置用于放置多个芯片阵列。

在所述芯片放置位置的周边形成有焊垫一2，所述焊垫一2的位置和数量根据待测试芯片3的焊垫二4的位置和数量进行设置，所述焊垫一2用于和所述焊垫二4进行连接。

所述待测试芯片3通过粘结方式放置在所述芯片位置上，所述待测试芯片3为由晶圆切割形成的裸片，所述焊垫一2和所述焊垫二4之间直接用金线5进行键合连接。

所述待测试芯片3为多个，放置在所述芯片位置上并组成芯片阵列结构；在所述模块板1上设置有一选择器；该选择器的一侧通过所述印刷电路板上的连线8和所述焊垫一2相连，用于对所述待测试芯片3进行选择；所述选择器的另一侧通过所述连线8和所述模块板1上的金手指7相连，用于加入测试信号。所述测试信号通过测试仪加入。

所述选择器为8选1的选择器，所述芯片放置位置最多能够放置8个所述待测试芯片3；或者，所述选择器为16选1的选择器，所述芯片放置位置最多能够放置16个所述待测试芯片3。