[发明专利]纺织材料上沉积纳米TiO2薄膜的方法无效
| 申请号： | 201210311041.3 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN102899623A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 蒋建业 | 申请（专利权）人： | 昆山铁牛衬衫厂 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215337 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纺织 材料 沉积 纳米 tio2 薄膜 方法 | ||
1.一种纺织材料上沉积纳米TiO2薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：
以高纯金属Ti靶为靶材，经预处理的纺织材料为基材，采用直流反应磁控溅射设备在室温条件下制备纺织材料基纳米TiO2薄膜，所有样品均采用基材在上、靶材在下的结构，即由下向上的溅射方式制备纳米TiO2薄膜，以避免杂质颗粒落到基材表面；同时，为控制薄膜沉积时基材的温度，避免由于高温而发生的基材变形，采用水冷装置冷却基片；为保证纳米TiO2薄膜的纯度，先将反应室抽至本底真空，然后通入高纯氩气作为溅射气体，高纯氧气作为反应气体。
2.根据权利要求1所述的一种纺织材料上沉积纳米TiO2薄膜的方法，其特征在于，每次溅射之前，都预先在不加氧的纯氩气中预溅射5min左右，以除去靶表面的氧化物，当观察到靶表面辉光放电颜色由粉红变成蓝白色时，表明氧化物已除去，然后再通入氧气进行反应溅射。
3.根据权利要求2所述的一种纺织材料上沉积纳米TiO2薄膜的方法，其特征在于，为使溅射反应产生的TiO2粒子能均匀附着在基材上，基材以100r/min的速度旋转。
4.根据权利要求1所述的一种纺织材料上沉积纳米TiO2薄膜的方法，其特征在于，薄膜厚度由膜厚仪测量控制。
5.根据权利要求1所述的一种纺织材料上沉积纳米TiO2薄膜的方法，其特征在于，所述的高纯金属Ti靶纯度为99.999％，直径50mm。
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