[发明专利]丝杠检测装置及采用该丝杠检测装置的检测方法

权利要求书

1.一种丝杠检测装置，用以检测丝杠的误差值，该丝杠检测装置包括：浮动端支座、编码器、二V形轴承、检测螺母、光学测量镜、双频激光干涉仪及固定端安装座；

所述丝杠承载于二V形轴承上，并夹置于浮动端支座与固定端安装座之间；

所述检测螺母套设于丝杠的外周上，当该丝杠作周向旋转运动时，所述检测螺母沿丝杠的轴向作直线运动；

所述光学测量镜固定安装在检测螺母上，随检测螺母一起移动；

所述双频激光干涉仪面向所述丝杠的一外端部设置；

其特征在于：

该丝杠检测装置还包括：光学参考镜及角镜；

所述光学参考镜固定安装于丝杠的外端部上，随丝杠一起作周向旋转运动；

所述角镜靠近双频激光干涉仪设置，用以将该双频激光干涉仪发出的激光束反射至光学测量镜。

2.如权利要求1所述的丝杠检测装置，其特征在于：所述光学参考镜垂直于所述丝杠的轴线设置。

3.如权利要求2所述的丝杠检测装置，其特征在于：所述光学测量镜垂直于所述丝杠的轴线设置。

4.如权利要求1所述的丝杠检测装置，其特征在于：所述双频激光干涉仪正对所述光学参考镜设置。

5.如权利要求1所述的丝杠检测装置，其特征在于：所述固定端安装座包括推力轴承及固定所述推力轴承的推力轴承支座，所述推力轴承卡置于所述丝杠的一轴颈上。

6.一种采用如权利要求1－5中任一项所述的丝杠检测装置的检测方法，其特征在于，具体步骤包括：

经所述双频激光干涉仪射出的激光束分成两束，其中一束沿着丝杠的轴线方向经光学参考镜反射后回到双频激光干涉仪上；另一束经角镜反射后传至光学测量镜上再沿该路径返回到双频激光干涉仪上。

7.如权利要求6所述的检测方法，其特征在于：通过平行光管光学调整法将光学参考镜调整至与丝杠的轴线相垂直的位置。

8.如权利要求6所述的检测方法，其特征在于：所述编码器用以同步记录丝杠的转角信号。

9.如权利要求8所述的检测方法，其特征在于：通过双频激光干涉仪的内部运算处理，得到光学测量镜相对于光学参考镜的位移信号。

10.如权利要求9所述的检测方法，其特征在于：将每一时刻编码器记录的转角信号所对应的双频激光干涉仪记录的位移信号经过数据运算从而得到检测螺母关于丝杠转角的运动曲线，进而对运动曲线进行数据分析，最终得到丝杠的误差检测结果。