[发明专利]光刻投影物镜中光学元件X-Y微动调整装置无效

专利信息
申请号: 201210312612.5 申请日: 2012-08-29
公开(公告)号: CN102854758A 公开(公告)日: 2013-01-02
发明(设计)人: 赵磊;巩岩;于新峰 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G02B7/02
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 南小平
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 光刻 投影 物镜 光学 元件 微动 调整 装置
【权利要求书】:

1.光刻投影物镜中X-Y微动调整装置,包括镜框(2)、两个驱动器(3)和两个电容传感器(4),其特征在于,所述两个驱动器(3)和两个电容传感器(4)分别固定在镜框(2)上。

2.根据权利要求1所述的光刻投影物镜中X-Y微动调整装置,其特征在于,所述镜框(2)为镜框内环(2-1)、镜框外环(2-2)、直弹片(2-3)、第一折叠弹片(2-4)、第二折叠弹片(2-5)和若干辅助支撑弹片(2-6)组成的一体化结构。

3.根据权利要求2所述的光刻投影物镜中X-Y微动调整装置,其特征在于,所述镜框内环(2-1)和镜框外环(2-2)之间通过直弹片(2-3)、第一折叠弹片(2-4)、第二折叠弹片(2-5)和若干辅助支撑弹片(2-6)进行连接。

4.根据权利要求2所述的光刻投影物镜中X-Y微动调整装置,其特征在于,直弹片(2-3)与第一折叠弹片内侧弹片(2-4-1)连线的交点O1位于y轴上,直弹片(2-3)的延长线与第二折叠弹片内侧弹片(2-5-1)连线的交点O2位于x轴上,并且距离O1O与O2O相等。

5.根据权利要求2所述的光刻投影物镜中X-Y微动调整装置,其特征在于,所述驱动器(3)安装在镜框外环(2-2)外侧,驱动器(3)的输入位移作用在第一折叠弹片(2-4)和第二折叠弹片(2-5)上, 输入位移方向分别垂直于第一折叠弹片外侧弹片(2-4-2)和第二折叠弹片外侧弹片(2-5-2)。

6.根据权利要求1所述的光刻投影物镜中X-Y微动调整装置,其特征在于,两个电容传感器(4)均为单电极电容传感器,均固定在镜框外环(2-2)的内侧,并且两个电容传感器(4)的周向间隔为90o。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210312612.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code