[发明专利]光刻投影物镜中光学元件X-Y微动调整装置无效
申请号: | 201210312612.5 | 申请日: | 2012-08-29 |
公开(公告)号: | CN102854758A | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 赵磊;巩岩;于新峰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B7/02 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 南小平 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光刻 投影 物镜 光学 元件 微动 调整 装置 | ||
1.光刻投影物镜中X-Y微动调整装置,包括镜框(2)、两个驱动器(3)和两个电容传感器(4),其特征在于,所述两个驱动器(3)和两个电容传感器(4)分别固定在镜框(2)上。
2.根据权利要求1所述的光刻投影物镜中X-Y微动调整装置,其特征在于,所述镜框(2)为镜框内环(2-1)、镜框外环(2-2)、直弹片(2-3)、第一折叠弹片(2-4)、第二折叠弹片(2-5)和若干辅助支撑弹片(2-6)组成的一体化结构。
3.根据权利要求2所述的光刻投影物镜中X-Y微动调整装置,其特征在于,所述镜框内环(2-1)和镜框外环(2-2)之间通过直弹片(2-3)、第一折叠弹片(2-4)、第二折叠弹片(2-5)和若干辅助支撑弹片(2-6)进行连接。
4.根据权利要求2所述的光刻投影物镜中X-Y微动调整装置,其特征在于,直弹片(2-3)与第一折叠弹片内侧弹片(2-4-1)连线的交点O1位于y轴上,直弹片(2-3)的延长线与第二折叠弹片内侧弹片(2-5-1)连线的交点O2位于x轴上,并且距离O1O与O2O相等。
5.根据权利要求2所述的光刻投影物镜中X-Y微动调整装置,其特征在于,所述驱动器(3)安装在镜框外环(2-2)外侧,驱动器(3)的输入位移作用在第一折叠弹片(2-4)和第二折叠弹片(2-5)上, 输入位移方向分别垂直于第一折叠弹片外侧弹片(2-4-2)和第二折叠弹片外侧弹片(2-5-2)。
6.根据权利要求1所述的光刻投影物镜中X-Y微动调整装置,其特征在于,两个电容传感器(4)均为单电极电容传感器,均固定在镜框外环(2-2)的内侧,并且两个电容传感器(4)的周向间隔为90o。
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