[发明专利]无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法

权利要求书

1.一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）将待曝光的数据文件加载到计算机内存中，如GDSII、OASIS，所述待曝光的数据文件中保存有曝光图形的矢量信息；

（2）计算机根据外界输入的条形码码制和内容信息，按相应条形码码制规则生成该条形码的图像信息矩阵；所生成的信息矩阵中每个元素代表条码图像中的一个矩形块，元素的值表示该矩形块是黑色还是白色；

（3）遍历步骤（2）中生成的条码图像信息矩阵，如果当前遍历到的元素表示黑色矩形块，则根据外界输入的条形码起始位置和大小信息，计算出该矩形块在步骤（1）中的曝光图形中的位置和大小，并将该矩形块以失量数据的形式添加到步骤（1）中的曝光图形中；在整个条码图像信息矩阵遍历完之后，在计算机的内存中就有了一张包含指定条形码和曝光图形信息的失量图形；

（4）将步骤（3）中最终生成的包含指定条形码和曝光图形信息的失量图形数据作为新的曝光图形文件进行后续的曝光，光刻机就会在光敏感的介质上曝光出相应码制的条形码。

2. 根据权利要求1所述的一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法，其特征在于：所述步骤（1）中，待曝光的数据文件首先是加载到计算机内存中，便于其后的修改。

3.根据权利要求1所述的一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法，其特征在于：所述步骤（2）和（3）中，条形码的内容可以来自多方面，如人工输入、 系统自动生成序列号、系统日期；条形码的码制、位置和大小一般是人工输入确定。

4.根据权利要求3所述的一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法，其特征在于：指定条形码码制、内容、大小和位置后，光刻机会在光敏感的介质上曝光出相应的条形码图像。