[发明专利]成像器件、成像装置、制造装置及制造方法

权利要求书

1.一种成像器件，包括：

多个光电转换器件层，其中形成有执行入射光的光电转换的光电转换器件；以及

夹在相应的光电转换器件层之间的布线层，其中形成有用于从光电转换器件中读取电荷的布线。

2.如权利要求1所述的成像器件，

其中，在相应的光电转换器件层中，光电转换器件执行入射光的彼此不同的波长带分量的光电转换。

3.如权利要求2所述的成像器件，

其中，在多个光电转换器件层中，在从光入射侧开始计数的第一层中的光电转换器件执行可见光的波长带分量的光电转换，在从光入射侧开始计数的第二层中的光电转换器件执行近红外光的波长带分量的光电转换。

4.如权利要求2所述的成像器件，

其中，在多个光电转换器件层中，在从光入射侧开始计数的第一层中的光电转换器件执行可见光的短波长带分量的光电转换，在从光入射侧开始计数的第二层中的光电转换器件执行可见光的长波长带分量的光电转换。

5.如权利要求2所述的成像器件，

其中，在相应各层中，光电转换器件的厚度彼此不同。

6.如权利要求1所述的成像器件，

其中，在相应各层中，光电转换器件的尺寸、形状和间隔中的至少一个不同。

7.如权利要求1所述的成像器件，

其中，多个层中的光电转换器件同时输出通过光电转换入射光而积累的电荷。

8.如权利要求1所述的成像器件，

其中，多个层中的光电转换器件在相应层中、在不同定时输出通过光电转换入射光而积累的电荷。

9.如权利要求1所述的成像器件，

其中，多个层中的光电转换器件通过输出光电转换入射光而积累的电荷，输出通过组合相应层中的图像而形成的组合图像。

10.如权利要求1所述的成像器件，

其中，在相应各层中，光电转换器件的电荷积累时间不同，在所述电荷积累时间期间通过光电转换入射光来积累电荷。

11.如权利要求1所述的成像器件，

其中，布置所述布线层中的布线，使得确保从布线层一侧到另一侧传输的入射光的光路。

12.如权利要求11所述的成像器件，

其中，在布线层中形成由比周围材料具有更高的光折射率的材料制成的波导。

13.如权利要求11所述的成像器件，

其中，依据入射光的入射角，布置所述布线层中的布线。

14.如权利要求1所述的成像器件，

其中，多个布线层的外部端子通过全通导孔彼此连接，在所述多个布线层中形成了用于从不同层的光电转换器件读取电荷的布线。

15.一种成像器件，包括：

彼此叠置的多个成像器件，每个具有一个光电转换器件层和一个布线层，在所述光电转换器件层中形成了执行入射光的光电转换的光电转换器件，在所述布线层中形成了从所述光电转换器件读取电荷的布线，

其中，相应的成像器件的电路彼此连接。

16.如权利要求15所述的成像器件，

其中，多个背照式成像器件叠置，在背照式成像器件中，在每个光电转换器件层的与光入射侧相对的一侧上形成每个布线层。

17.如权利要求15所述的成像器件，

其中，背照式成像器件和前照式成像器件叠置，在背照式成像器件中，在光电转换器件层的与光入射侧相对的一侧上形成布线层，而在前照式成像器件中，在光电转换器件层的光入射侧上形成布线层。

18.一种成像装置，包括：

对对象进行成像的成像器件，其具有多个光电转换器件层和夹在相应的光电转换器件层之间的布线层，在所述光电转换器件中形成有执行入射光的光电转换的光电转换器件，在所述布线层中形成有用于从光电转换器件中读取电荷的布线；以及

控制单元，用于控制成像器件的驱动，以便执行成像来获得对象图像。